第1364章 膜厚控制
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八月三号，鹏城，实验楼三层。
钱院士带了十二个人，关在机房里，三天没出来。
手册拆开之后，问题比想象的多。蔡司的镀膜工艺用的是磁控溅射加离子束辅助沉积，两套系统配合，精度要求到了亚纳米级别。
钱院士的助手小周拿着打印出来的参数表，站在设备前，对了半天。
“钱老，咱们这台溅射设备，靶材转速最高到三千转，手册上要求四千五。”
钱院士走过来，看了一眼参数。
“膜厚控制呢？”
小周翻到第三页：“手册要求单层膜厚度误差不超过零点零二纳米。咱们这台设备最好做到零点零八，差四倍。”
钱院士把参数表放下，摘了老花镜。
设备不够——这是硬伤。
他打给张红旗。
“红旗，设备精度不够。手册里的工艺，咱们现有的机器跑不了。”
张红旗在煤市街：“差多少？”
“核心指标差三到四倍。要么换设备，要么改设备。换设备国内买不到，国外买走审批，最快半年。”
张红旗说：“改。”
“改设备风险很大，改坏了连现在的精度都保不住。”
张红旗说：“钱老，您先稳住。材料那边我来解决。设备改造的方案您先出，我这边配合。”
挂了。
八月四号，东京，住友化学株式会社。
住友的半导体材料部门收到了一份内部通报：ASmL和一家开曼信托公司达成了专利交叉授权协议，镀膜技术参数外流。
住友的材料部部长田中看完通报，叫来下属。
“查一下，之前跟我们采购高纯度钼靶材的那个中国团队，是不是鹏城那边的？”
下属查了记录：“是。去年十一月下过一批订单，后来因为出口管制审批卡住了，一直没发货。”
田中点头：“现在ASmL把技术给出去了，说明这个团队有背景。重新联系他们。”
下属问：“价格呢？”
田中说：“涨百分之五十。”
下属没多问，发了邮件。
八月五号，鹏城，钱院士收到住友的邮件。
他看了报价，眉头皱了一下，打给张红旗。
“材料供应商主动联系过来了——日本住友。高纯度钼靶材，去年卡住的那批货，现在愿意卖了，但是涨价百分之五十。”
张红旗问：“原价多少？”
“一批三百二十万美元，现在要四百八十万。”
张红旗没犹豫：“买。二十四小时内发货，到不了货换供应商。”
钱院士说：“国内没有替代供应商，这个纯度只有住友和德国贺利氏能做。”
张红旗说：“那就让他们发。钱的事我来办。”
挂了电话，张红旗打给刘浩。
刘浩在京城，刚从北影厂出来。
“浩子，走个账。四百八十万美元，从香港账户出，打到住友化学的指定账户，今天之内到。”
刘浩问：“什么钱？”
“材料费，不多问。”
刘浩说：“行，我让陈默那边办。”
当天下午，陈默在香港操作。钱从瑞士账户转到香港，再从香港打到东京。四个小时，到账。
住友收到款，田中签了发货单。钼靶材从横滨港装船，走海运，三天到鹏城。
八月八号，材料到了。
钱院士没急着装料。他带着团队蹲在溅射设备前，干了一件事。
改机器。
小周把设备的控制电路板拆出来。钱院士拿着手册上的参数，在白板上画了一个补偿模型。
“设备精度不够，用软件补。”
他让三个博士生把实验楼地下室的模拟集群调出来——四十台服务器，全部接上——跑了一个补偿算法。
思路很简单：设备硬件做不到零点零二纳米的精度，就在每一层镀膜的过程中用传感器实时采集数据，反馈到算法里，算法即时修正下一步的沉积参数。
等于让一个手抖的人，靠一套自动修正系统，画出一条直线。
八月九号，凌晨两点，补偿参数跑出来了。
小周把参数灌进设备控制系统，重启。
溅射设备嗡嗡响了起来。
钱院士站在无尘室的观察窗外，看着里面。
第一层钼膜，沉积开始。
传感器采集，数据回传，算法修正。第二层硅膜，沉积，采集，修正。
一层钼，一层硅，交替沉积。
EUV反射镜面需要四十对钼硅多层膜——八十层，每层厚度不到七纳米。
八月十号，下午三点，八十层镀完。
小周从无尘室里出来，手里端着一块圆形基片，直径十五厘米，表面泛着金属光泽。
钱院士接过来，放在检测台上。
椭偏仪启动，激光打在镜面上，反射，探测器接收。
数据出来了。
小周看着屏幕，念数：“单层膜厚度误差，零点零三五纳米。”
钱院士没说话。
手册要求零点零二，他们做到了零点零三五。没达标，但比原来的零点零八好了一倍多。
“反射率呢？”
小周切换到下一组数据：“十三点五纳米波长，反射率百分之六十二点三。”
钱院士看着这个数字。
手册上蔡司的指标是百分之六十七，差了不到五个点。
但是，EUV光刻机的最低工作门槛是百分之六十。
他们过线了。
钱院士走到角落，拿起电话。
“红旗，光打通了。”
张红旗在煤市街的院子里，正看着陈默送来的一份报告。
“什么意思？”
钱院士声音平稳：“极紫外光源，十三点五纳米，穿过反射镜面，形成了稳定光束。参数达到了EUV光刻的最低发光标准。”
张红旗把手里的报告放下。
“钱老，您确认？”
“仪器记录的，白纸黑字。反射率百分之六十二点三，过了百分之六十的门槛。”
张红旗站了起来，走到院子里。槐树叶子在夜风里晃。
“这是第一步。”
钱院士说：“是第一步。后面还有光源系统、物镜组、工件台、掩模版，每一项都是硬骨头。但镜面这关，算是过了。”
张红旗说：“钱老，辛苦了。数据锁好，不要外传。”
“放心。”
挂了电话。
张红旗回到书房。桌上摊着麦佳佳从洛杉矶发来的一份行业报告。
他坐下来，翻到第十四页。
全球宽带网络用户增长曲线。
二零零一年底，全球宽带用户五千万；二零零二年中，八千万；预计年底突破一点二亿。
增长率，年化百分之一百四十。
张红旗盯着这条曲线。
他翻到下一页。中国市场，宽带用户从年初的三百万半年涨到六百万，网吧数量突破十万家。
他合上报告，拿起笔，在笔记本上写了一行字。
“宽带，内容，平台。”
他划掉了“平台”两个字，又写上。
“先做内容。”
八月三号，鹏城，实验楼三层。
钱院士带了十二个人，关在机房里，三天没出来。
手册拆开之后，问题比想象的多。蔡司的镀膜工艺用的是磁控溅射加离子束辅助沉积，两套系统配合，精度要求到了亚纳米级别。
钱院士的助手小周拿着打印出来的参数表，站在设备前，对了半天。
“钱老，咱们这台溅射设备，靶材转速最高到三千转，手册上要求四千五。”
钱院士走过来，看了一眼参数。
“膜厚控制呢？”
小周翻到第三页：“手册要求单层膜厚度误差不超过零点零二纳米。咱们这台设备最好做到零点零八，差四倍。”
钱院士把参数表放下，摘了老花镜。
设备不够——这是硬伤。
他打给张红旗。
“红旗，设备精度不够。手册里的工艺，咱们现有的机器跑不了。”
张红旗在煤市街：“差多少？”
“核心指标差三到四倍。要么换设备，要么改设备。换设备国内买不到，国外买走审批，最快半年。”
张红旗说：“改。”
“改设备风险很大，改坏了连现在的精度都保不住。”
张红旗说：“钱老，您先稳住。材料那边我来解决。设备改造的方案您先出，我这边配合。”
挂了。
八月四号，东京，住友化学株式会社。
住友的半导体材料部门收到了一份内部通报：ASmL和一家开曼信托公司达成了专利交叉授权协议，镀膜技术参数外流。
住友的材料部部长田中看完通报，叫来下属。
“查一下，之前跟我们采购高纯度钼靶材的那个中国团队，是不是鹏城那边的？”
下属查了记录：“是。去年十一月下过一批订单，后来因为出口管制审批卡住了，一直没发货。”
田中点头：“现在ASmL把技术给出去了，说明这个团队有背景。重新联系他们。”
下属问：“价格呢？”
田中说：“涨百分之五十。”
下属没多问，发了邮件。
八月五号，鹏城，钱院士收到住友的邮件。
他看了报价，眉头皱了一下，打给张红旗。
“材料供应商主动联系过来了——日本住友。高纯度钼靶材，去年卡住的那批货，现在愿意卖了，但是涨价百分之五十。”
张红旗问：“原价多少？”
“一批三百二十万美元，现在要四百八十万。”
张红旗没犹豫：“买。二十四小时内发货，到不了货换供应商。”
钱院士说：“国内没有替代供应商，这个纯度只有住友和德国贺利氏能做。”
张红旗说：“那就让他们发。钱的事我来办。”
挂了电话，张红旗打给刘浩。
刘浩在京城，刚从北影厂出来。
“浩子，走个账。四百八十万美元，从香港账户出，打到住友化学的指定账户，今天之内到。”
刘浩问：“什么钱？”
“材料费，不多问。”
刘浩说：“行，我让陈默那边办。”
当天下午，陈默在香港操作。钱从瑞士账户转到香港，再从香港打到东京。四个小时，到账。
住友收到款，田中签了发货单。钼靶材从横滨港装船，走海运，三天到鹏城。
八月八号，材料到了。
钱院士没急着装料。他带着团队蹲在溅射设备前，干了一件事。
改机器。
小周把设备的控制电路板拆出来。钱院士拿着手册上的参数，在白板上画了一个补偿模型。
“设备精度不够，用软件补。”
他让三个博士生把实验楼地下室的模拟集群调出来——四十台服务器，全部接上——跑了一个补偿算法。
思路很简单：设备硬件做不到零点零二纳米的精度，就在每一层镀膜的过程中用传感器实时采集数据，反馈到算法里，算法即时修正下一步的沉积参数。
等于让一个手抖的人，靠一套自动修正系统，画出一条直线。
八月九号，凌晨两点，补偿参数跑出来了。
小周把参数灌进设备控制系统，重启。
溅射设备嗡嗡响了起来。
钱院士站在无尘室的观察窗外，看着里面。
第一层钼膜，沉积开始。
传感器采集，数据回传，算法修正。第二层硅膜，沉积，采集，修正。
一层钼，一层硅，交替沉积。
EUV反射镜面需要四十对钼硅多层膜——八十层，每层厚度不到七纳米。
八月十号，下午三点，八十层镀完。
小周从无尘室里出来，手里端着一块圆形基片，直径十五厘米，表面泛着金属光泽。
钱院士接过来，放在检测台上。
椭偏仪启动，激光打在镜面上，反射，探测器接收。
数据出来了。
小周看着屏幕，念数：“单层膜厚度误差，零点零三五纳米。”
钱院士没说话。
手册要求零点零二，他们做到了零点零三五。没达标，但比原来的零点零八好了一倍多。
“反射率呢？”
小周切换到下一组数据：“十三点五纳米波长，反射率百分之六十二点三。”
钱院士看着这个数字。
手册上蔡司的指标是百分之六十七，差了不到五个点。
但是，EUV光刻机的最低工作门槛是百分之六十。
他们过线了。
钱院士走到角落，拿起电话。
“红旗，光打通了。”
张红旗在煤市街的院子里，正看着陈默送来的一份报告。
“什么意思？”
钱院士声音平稳：“极紫外光源，十三点五纳米，穿过反射镜面，形成了稳定光束。参数达到了EUV光刻的最低发光标准。”
张红旗把手里的报告放下。
“钱老，您确认？”
“仪器记录的，白纸黑字。反射率百分之六十二点三，过了百分之六十的门槛。”
张红旗站了起来，走到院子里。槐树叶子在夜风里晃。
“这是第一步。”
钱院士说：“是第一步。后面还有光源系统、物镜组、工件台、掩模版，每一项都是硬骨头。但镜面这关，算是过了。”
张红旗说：“钱老，辛苦了。数据锁好，不要外传。”
“放心。”
挂了电话。
张红旗回到书房。桌上摊着麦佳佳从洛杉矶发来的一份行业报告。
他坐下来，翻到第十四页。
全球宽带网络用户增长曲线。
二零零一年底，全球宽带用户五千万；二零零二年中，八千万；预计年底突破一点二亿。
增长率，年化百分之一百四十。
张红旗盯着这条曲线。
他翻到下一页。中国市场，宽带用户从年初的三百万半年涨到六百万，网吧数量突破十万家。
他合上报告，拿起笔，在笔记本上写了一行字。
“宽带，内容，平台。”
他划掉了“平台”两个字，又写上。
“先做内容。”