第888章 EUV这条路，我们不追了！
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上沪，国际半导体大会主会场。
上午九点。
原本该是热闹的产业大会，此刻压得像战前动员。
会场外，展板还写着“国产替代”“先进制造”“协同攻关”。
会场内，所有人的脸都不好看。
美国封锁令正式文本已经公布。
名单比传闻更长。
芯片、EdA、光刻设备、精密仪器、特种气体、高纯材料，一刀切下来，连边角料都不想给华夏留。
台上，一个老专家正在汇报。
“高端光刻机，我们目前最大的短板，仍然是核心物镜系统。”
“浸没式光路稳定性不足。”
“双工件台纳米级同步还没完全打穿。”
“光刻胶、掩膜版、特种气体、缺陷检测，也都有瓶颈。”
他说完，台下没有掌声。
不是不尊重，是大家心里都堵。
一个晶圆厂负责人低声问旁边人：
“你们库存还能撑多久？”
“光刻胶四十六天。”
“特气两个月。”
“EdA授权呢？”
“最麻烦。”
“美国那边把云端许可卡住，我们几个项目可能要停。”
手机厂代表脸色发青。
“下半年旗舰怎么办？”
“降规格？”
“你先别说旗舰，能不能按时流片都是问题。”
后排两个设备企业负责人压低声音争论。
“现在转低端工艺还来得及。”
“成熟制程也得设备维护。”
“备件卡住，产线一样疼。”
“那怎么办？喊口号？”
“你能把EUV喊出来？”
这句话一落，周围几个人都不说话了。
台上另一名专家提到国产替代。
“我们要有信心。”
“只要全产业协同，必然能——”
他自己说到一半，也停了。
会场里的工程师太多了。
大家不是不爱听鼓劲。
大家是太懂工程。
差距不是喊两句口号就能缩短的。
一个高校教授叹了口气。
“dUV多重曝光还能硬撑一阵。”
“可越往下走，成本、良率、周期，全会把人拖死。”
“EUV这座山，绕不开。”
就在这时，会场侧门忽然打开。
一名主办方负责人快步走进来，脸色变了又变。
主持人看见他递来的纸条，手都抖了一下。
“各位。”
“会议临时调整。”
“请所有媒体记者立即离场。”
“所有手机、录音设备、智能手表，统一封存。”
台下瞬间炸锅。
“怎么回事？”
“又有新名单？”
“美国追加制裁了？”
“不会是哪个企业被点名了吧？”
主办方负责人深吸一口气。
“最高级别通知。”
“许燃总师，临时到场。”
轰！
整个会场像被一颗雷砸中。
刚才还愁眉苦脸的企业老板，一下全站了起来。
工程师们伸长脖子往门口看。
几个老院士互相对视，眼里压着惊色。
“许燃？”
“他不是在303所搞烛龙和羲和吗？”
“他来半导体大会干什么？”
“还能干什么？救场啊！”
“别乱说，许总也不是神。”
旁边一个年轻工程师忍不住回嘴：
“祝融电池发布前，你们也说电池不是神。”
“朱雀首飞前，你们也说地面起飞不现实。”
“现在呢？”
那人张了张嘴，没再接话。
安保动作快得吓人。
记者被请出场。
手机封存。
外联切断。
会场门口，几名国安人员笑得客气，手上却一点都不含糊。
十分钟后。
侧门再次打开。
许燃走进会场。
他穿着黑色夹克，脸上带着熬夜后的疲惫，眼神却清醒。
简瑶跟在他左侧，手里拿着加密终端。
周群站在右侧，负责现场链路。
许燃手边，是那只黑色加密箱。
会场所有人都站了起来。
许燃没有寒暄。
他走上台，把箱子放到主控桌旁。
第一句话，就把整个会场说懵了。
“EUV这条路，我们不追了。”
有个企业老板刚站起来，听见这话，腿一软，又坐了回去。
一名老专家脸色瞬间发白。
“许总，你这话是什么意思？”
“EUV不追，高端制程怎么办？”
“先进芯片怎么办？”
“我们总不能把未来让出去。”
台下有人急了。
“许总，传统路线差距是大，可不追不就等于放弃吗？”
“我们还在攻dUV多重曝光，还在搞国产光刻胶。”
“现在美国封锁刚落地，你说不追，外面会怎么解读？”
许燃抬手，示意他们坐下。
“我说不追，不是不要高端芯片。”
“是不再按他们画好的路线交学费。”
他点开简瑶递来的终端。
主屏亮起。
一张巨大的结构图展开。
不是光刻机，也不是晶圆产线。
是烛龙底座的一角。
环形光场阵列、负折射物镜组、原子源控制腔、三维势阱成像模块。
每一部分都只露出局部。
可对现场这些半导体老兵来说，已经够吓人了。
一个设备厂总师猛地站起来。
“这不是曝光系统！”
周群接话。
“对。”
“它不是用光去刻图案。”
“它是用光场去摆位置。”
许燃看向台下。
“传统光刻是什么？”
“光源、掩膜版、光刻胶、刻蚀、沉积，一层一层往上叠。”
“每一步，都有人能卡你脖子。”
“光源他们卡。”
“物镜他们卡。”
“光刻胶他们卡。”
“掩膜版他们卡。”
“EdA他们也卡。”
“你越追，就越像在替他们修盘山路。”
“他们守着收费站，你跑得越快，交得越多。”
台下不少人脸色涨红。
这话扎心。
可扎得准。
许燃指着屏幕上的烛龙底座。
“所以，我们不追收费站。”
“我们换路。”
简瑶接过话，声音清亮。
“烛龙路线的核心，是三维原子级势阱阵列。”
“简单说，我们不是把图案刻在材料上。”
“我们先用量子光场建立一组能量位置。”
“目标原子进入后，会被势阱引导到指定坐标。”
“位置不对，能量不匹配，会被边界排出去。”
“位置正确，系统锁定。”
一个高校教授睁大眼。
“原子自组装？”
许燃点头。
“更准确地说，是受控原子自组装。”
周群把下一页切出来。
“负折射物镜负责在线诊断。”
“电磁约束负责锁相。”
“拓扑边界负责容错。”
“不用EUV光源。”
“不用掩膜版。”
“不依赖光刻胶。”
台下有人喃喃道：
“绕过EUV？”
“这是把整套光刻逻辑都掀了。”
陈旧的会场音响里，忽然响起几声椅子摩擦地面的声音。
不少人坐不住了。
一名老院士推了推眼镜，声音发紧。
“许燃，原子自己站队，理论上好听。”
“问题是工程。”
“吞吐量怎么解决？”
“污染怎么控制？”
“错位原子怎么剔除？”
“互连怎么做？”
“你不能只给我们看天花板。”
“产业链要踩到地板。”
许燃看向他，点了点头。
“张老问得对。”
“所以今天不是发布概念。”
“是分工。”
会场立刻安静。
许燃切出三条路线。
“第一，成熟制程继续稳住。”
“国产dUV、先进封装、材料替代，该打的仗继续打。”
“饭碗不能丢。”
“第二，烛龙试验线专攻原子级逻辑单元和小规模阵列。”
“不要让传统晶圆厂硬转。”
“第三，设备企业、材料企业、检测企业，全部从‘仿制某个环节’，转向‘服务原子制造新环节’。”
“沉积、清洗、真空、原子源、在线诊断、低缺陷封装。”
“你们不是没活干。”
“是活变大了。”
台下一个设备企业老板忍不住问：
“许总，那我们这种做刻蚀设备的呢？”
许燃看了他一眼。
“你们最忙。”
“原子制造不是不要工艺。”
“是工艺精度继续往下沉。”
“过去你们修的是大路。”
“以后修的是原子级轨道。”
会场里传出几声低笑。
紧绷的气氛松了些。
另一个企业负责人急忙追问：
“手机芯片怎么办？”
“短期靠成熟制程、先进封装和架构优化顶住。”
“中期等烛龙小规模阵列。”
“长期，由原子制造接管先进节点。”
“美国人今天封锁，是想让我们没刀可用。”
许燃停顿了一下。
“那我们就不跟他们比刀。”
“我们让材料自己长出刀。”
这句话落下，不少年轻工程师眼睛都红了。
他们憋了太久。
这么多年，谁没受过卡脖子的气？
许可证到期，要低头。
设备维护，要排队。
买个备件，文件能摞半人高。
人家一个邮件，就能让项目停摆。
今天，美国人把门一关。
许燃却把墙打开了。
就在这时，主办方负责人快步上台，在许燃耳边低声说了几句。
周群的终端也弹出红色提醒。
她抬头。
“许总，最终禁令追加条款出来了。”
“EdA授权半小时后中止。”
“三家特种气体供应商宣布停止对华高端订单。”
“ASmL暂停部分维护服务。”
会场刚热起来的空气，瞬间又冷下去。
有人骂了一句。
“真下死手啊。”
“这是逼我们停线。”
“半小时后EdA就断？”
“项目文件还在他们云端！”
“完了，几个流片计划要出事。”
许燃没有动怒。
他只是低头，看了一眼黑色加密箱。
“来得正好。”
台下所有人的目光都落到箱子上。
许燃按下掌纹。
简瑶输入密钥。
周群接入离线验证模块。
咔哒。
箱盖打开。
里面不是一片完整晶圆。
而是一枚被透明隔振托盘托住的指甲盖大小载片。
载片周围，嵌着微型冷却环和四组独立电极。
屏幕上弹出介绍。
【烛龙—0号原子级逻辑单元】
【制造方式：光场势阱受控自组装】
【EUV曝光次数：0】
【掩膜版使用量：0】
【光刻胶使用量：0】
【外部EdA依赖：0】
整个会场炸了。
“实物？”
“已经做出来了？”
“不是说还在底座校准吗？”
“这才几天？”
“许总，你们303所是把时间也国产替代了吗？”
连老院士张怀民都站了起来。
“能工作？”
许燃把随机数盒递给他。
“张老，您出题。”
张怀民怔了一下。
“我？”
“您刚才说要踩地板。”
许燃指了指载片。
“地板在这。”
会场里响起一阵压低的笑声。
张怀民接过随机数盒，按下生成。
一千组随机布尔运算指令，离线写入验证模块。
所有人盯着主屏。
没人说话。
一秒。
两秒。
三秒。
屏幕刷新。
【运算完成】
【校验结果：1000/1000】
【逻辑门状态：稳定】
【原子阵列偏移：低于检测阈值】
哗！
这一次，掌声彻底炸开。
几个企业老板直接站起来鼓掌。
不少工程师把手掌拍红了也没停。
刚才还说减产、囤芯、转低端的人，此刻眼睛发亮，像被人从水里拽了出来。
张怀民盯着那枚小小的载片，声音发哑。
“这不是样子货。”
“它真能算。”
许燃合上验证窗口。
“它还小。”
“离量产还有距离。”
“吞吐量、互连、热管理、阵列一致性，全都要打。”
“可从今天开始，先进芯片不再由他们说了算。”
他看向全场。
“美国封锁的是旧路线。”
“我们开的是新路线。”
“谁还想减产、囤芯、转低端，现在可以把申请撕了。”
台下有人真的低头，把刚写了一半的减产方案揉成了团。
旁边人看见，笑骂：
“你还真撕啊？”
那人眼眶发红，咧嘴一笑。
“不撕留着过年？”
会场再次笑了起来。
紧张、憋屈、恐慌，被这阵笑声冲得七零八落。
上沪，国际半导体大会主会场。
上午九点。
原本该是热闹的产业大会，此刻压得像战前动员。
会场外，展板还写着“国产替代”“先进制造”“协同攻关”。
会场内，所有人的脸都不好看。
美国封锁令正式文本已经公布。
名单比传闻更长。
芯片、EdA、光刻设备、精密仪器、特种气体、高纯材料，一刀切下来，连边角料都不想给华夏留。
台上，一个老专家正在汇报。
“高端光刻机，我们目前最大的短板，仍然是核心物镜系统。”
“浸没式光路稳定性不足。”
“双工件台纳米级同步还没完全打穿。”
“光刻胶、掩膜版、特种气体、缺陷检测，也都有瓶颈。”
他说完，台下没有掌声。
不是不尊重，是大家心里都堵。
一个晶圆厂负责人低声问旁边人：
“你们库存还能撑多久？”
“光刻胶四十六天。”
“特气两个月。”
“EdA授权呢？”
“最麻烦。”
“美国那边把云端许可卡住，我们几个项目可能要停。”
手机厂代表脸色发青。
“下半年旗舰怎么办？”
“降规格？”
“你先别说旗舰，能不能按时流片都是问题。”
后排两个设备企业负责人压低声音争论。
“现在转低端工艺还来得及。”
“成熟制程也得设备维护。”
“备件卡住，产线一样疼。”
“那怎么办？喊口号？”
“你能把EUV喊出来？”
这句话一落，周围几个人都不说话了。
台上另一名专家提到国产替代。
“我们要有信心。”
“只要全产业协同，必然能——”
他自己说到一半，也停了。
会场里的工程师太多了。
大家不是不爱听鼓劲。
大家是太懂工程。
差距不是喊两句口号就能缩短的。
一个高校教授叹了口气。
“dUV多重曝光还能硬撑一阵。”
“可越往下走，成本、良率、周期，全会把人拖死。”
“EUV这座山，绕不开。”
就在这时，会场侧门忽然打开。
一名主办方负责人快步走进来，脸色变了又变。
主持人看见他递来的纸条，手都抖了一下。
“各位。”
“会议临时调整。”
“请所有媒体记者立即离场。”
“所有手机、录音设备、智能手表，统一封存。”
台下瞬间炸锅。
“怎么回事？”
“又有新名单？”
“美国追加制裁了？”
“不会是哪个企业被点名了吧？”
主办方负责人深吸一口气。
“最高级别通知。”
“许燃总师，临时到场。”
轰！
整个会场像被一颗雷砸中。
刚才还愁眉苦脸的企业老板，一下全站了起来。
工程师们伸长脖子往门口看。
几个老院士互相对视，眼里压着惊色。
“许燃？”
“他不是在303所搞烛龙和羲和吗？”
“他来半导体大会干什么？”
“还能干什么？救场啊！”
“别乱说，许总也不是神。”
旁边一个年轻工程师忍不住回嘴：
“祝融电池发布前，你们也说电池不是神。”
“朱雀首飞前，你们也说地面起飞不现实。”
“现在呢？”
那人张了张嘴，没再接话。
安保动作快得吓人。
记者被请出场。
手机封存。
外联切断。
会场门口，几名国安人员笑得客气，手上却一点都不含糊。
十分钟后。
侧门再次打开。
许燃走进会场。
他穿着黑色夹克，脸上带着熬夜后的疲惫，眼神却清醒。
简瑶跟在他左侧，手里拿着加密终端。
周群站在右侧，负责现场链路。
许燃手边，是那只黑色加密箱。
会场所有人都站了起来。
许燃没有寒暄。
他走上台，把箱子放到主控桌旁。
第一句话，就把整个会场说懵了。
“EUV这条路，我们不追了。”
有个企业老板刚站起来，听见这话，腿一软，又坐了回去。
一名老专家脸色瞬间发白。
“许总，你这话是什么意思？”
“EUV不追，高端制程怎么办？”
“先进芯片怎么办？”
“我们总不能把未来让出去。”
台下有人急了。
“许总，传统路线差距是大，可不追不就等于放弃吗？”
“我们还在攻dUV多重曝光，还在搞国产光刻胶。”
“现在美国封锁刚落地，你说不追，外面会怎么解读？”
许燃抬手，示意他们坐下。
“我说不追，不是不要高端芯片。”
“是不再按他们画好的路线交学费。”
他点开简瑶递来的终端。
主屏亮起。
一张巨大的结构图展开。
不是光刻机，也不是晶圆产线。
是烛龙底座的一角。
环形光场阵列、负折射物镜组、原子源控制腔、三维势阱成像模块。
每一部分都只露出局部。
可对现场这些半导体老兵来说，已经够吓人了。
一个设备厂总师猛地站起来。
“这不是曝光系统！”
周群接话。
“对。”
“它不是用光去刻图案。”
“它是用光场去摆位置。”
许燃看向台下。
“传统光刻是什么？”
“光源、掩膜版、光刻胶、刻蚀、沉积，一层一层往上叠。”
“每一步，都有人能卡你脖子。”
“光源他们卡。”
“物镜他们卡。”
“光刻胶他们卡。”
“掩膜版他们卡。”
“EdA他们也卡。”
“你越追，就越像在替他们修盘山路。”
“他们守着收费站，你跑得越快，交得越多。”
台下不少人脸色涨红。
这话扎心。
可扎得准。
许燃指着屏幕上的烛龙底座。
“所以，我们不追收费站。”
“我们换路。”
简瑶接过话，声音清亮。
“烛龙路线的核心，是三维原子级势阱阵列。”
“简单说，我们不是把图案刻在材料上。”
“我们先用量子光场建立一组能量位置。”
“目标原子进入后，会被势阱引导到指定坐标。”
“位置不对，能量不匹配，会被边界排出去。”
“位置正确，系统锁定。”
一个高校教授睁大眼。
“原子自组装？”
许燃点头。
“更准确地说，是受控原子自组装。”
周群把下一页切出来。
“负折射物镜负责在线诊断。”
“电磁约束负责锁相。”
“拓扑边界负责容错。”
“不用EUV光源。”
“不用掩膜版。”
“不依赖光刻胶。”
台下有人喃喃道：
“绕过EUV？”
“这是把整套光刻逻辑都掀了。”
陈旧的会场音响里，忽然响起几声椅子摩擦地面的声音。
不少人坐不住了。
一名老院士推了推眼镜，声音发紧。
“许燃，原子自己站队，理论上好听。”
“问题是工程。”
“吞吐量怎么解决？”
“污染怎么控制？”
“错位原子怎么剔除？”
“互连怎么做？”
“你不能只给我们看天花板。”
“产业链要踩到地板。”
许燃看向他，点了点头。
“张老问得对。”
“所以今天不是发布概念。”
“是分工。”
会场立刻安静。
许燃切出三条路线。
“第一，成熟制程继续稳住。”
“国产dUV、先进封装、材料替代，该打的仗继续打。”
“饭碗不能丢。”
“第二，烛龙试验线专攻原子级逻辑单元和小规模阵列。”
“不要让传统晶圆厂硬转。”
“第三，设备企业、材料企业、检测企业，全部从‘仿制某个环节’，转向‘服务原子制造新环节’。”
“沉积、清洗、真空、原子源、在线诊断、低缺陷封装。”
“你们不是没活干。”
“是活变大了。”
台下一个设备企业老板忍不住问：
“许总，那我们这种做刻蚀设备的呢？”
许燃看了他一眼。
“你们最忙。”
“原子制造不是不要工艺。”
“是工艺精度继续往下沉。”
“过去你们修的是大路。”
“以后修的是原子级轨道。”
会场里传出几声低笑。
紧绷的气氛松了些。
另一个企业负责人急忙追问：
“手机芯片怎么办？”
“短期靠成熟制程、先进封装和架构优化顶住。”
“中期等烛龙小规模阵列。”
“长期，由原子制造接管先进节点。”
“美国人今天封锁，是想让我们没刀可用。”
许燃停顿了一下。
“那我们就不跟他们比刀。”
“我们让材料自己长出刀。”
这句话落下，不少年轻工程师眼睛都红了。
他们憋了太久。
这么多年，谁没受过卡脖子的气？
许可证到期，要低头。
设备维护，要排队。
买个备件，文件能摞半人高。
人家一个邮件，就能让项目停摆。
今天，美国人把门一关。
许燃却把墙打开了。
就在这时，主办方负责人快步上台，在许燃耳边低声说了几句。
周群的终端也弹出红色提醒。
她抬头。
“许总，最终禁令追加条款出来了。”
“EdA授权半小时后中止。”
“三家特种气体供应商宣布停止对华高端订单。”
“ASmL暂停部分维护服务。”
会场刚热起来的空气，瞬间又冷下去。
有人骂了一句。
“真下死手啊。”
“这是逼我们停线。”
“半小时后EdA就断？”
“项目文件还在他们云端！”
“完了，几个流片计划要出事。”
许燃没有动怒。
他只是低头，看了一眼黑色加密箱。
“来得正好。”
台下所有人的目光都落到箱子上。
许燃按下掌纹。
简瑶输入密钥。
周群接入离线验证模块。
咔哒。
箱盖打开。
里面不是一片完整晶圆。
而是一枚被透明隔振托盘托住的指甲盖大小载片。
载片周围，嵌着微型冷却环和四组独立电极。
屏幕上弹出介绍。
【烛龙—0号原子级逻辑单元】
【制造方式：光场势阱受控自组装】
【EUV曝光次数：0】
【掩膜版使用量：0】
【光刻胶使用量：0】
【外部EdA依赖：0】
整个会场炸了。
“实物？”
“已经做出来了？”
“不是说还在底座校准吗？”
“这才几天？”
“许总，你们303所是把时间也国产替代了吗？”
连老院士张怀民都站了起来。
“能工作？”
许燃把随机数盒递给他。
“张老，您出题。”
张怀民怔了一下。
“我？”
“您刚才说要踩地板。”
许燃指了指载片。
“地板在这。”
会场里响起一阵压低的笑声。
张怀民接过随机数盒，按下生成。
一千组随机布尔运算指令，离线写入验证模块。
所有人盯着主屏。
没人说话。
一秒。
两秒。
三秒。
屏幕刷新。
【运算完成】
【校验结果：1000/1000】
【逻辑门状态：稳定】
【原子阵列偏移：低于检测阈值】
哗！
这一次，掌声彻底炸开。
几个企业老板直接站起来鼓掌。
不少工程师把手掌拍红了也没停。
刚才还说减产、囤芯、转低端的人，此刻眼睛发亮，像被人从水里拽了出来。
张怀民盯着那枚小小的载片，声音发哑。
“这不是样子货。”
“它真能算。”
许燃合上验证窗口。
“它还小。”
“离量产还有距离。”
“吞吐量、互连、热管理、阵列一致性，全都要打。”
“可从今天开始，先进芯片不再由他们说了算。”
他看向全场。
“美国封锁的是旧路线。”
“我们开的是新路线。”
“谁还想减产、囤芯、转低端，现在可以把申请撕了。”
台下有人真的低头，把刚写了一半的减产方案揉成了团。
旁边人看见，笑骂：
“你还真撕啊？”
那人眼眶发红，咧嘴一笑。
“不撕留着过年？”
会场再次笑了起来。
紧张、憋屈、恐慌，被这阵笑声冲得七零八落。