第892章 不是替代是重做！这座百年巨塔，已经在推了！
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合作攻关组挂牌后的第一个清晨，303所门口来了三辆黑色通勤车。
车身没有标识。
车窗贴着深色防窥膜。
车门打开时，先下来的是两名安保，随后才是几个头发花白的老人。
他们每个人手里都拎着加密箱。
箱体上贴着红色封条。
【绝密光学资料】
秦立成站在门口迎接，声音压得很低。
“许总，他们到了。”
许燃从大厅里走出来，看了一眼队伍最前方的白发老人。
张怀民低声介绍：
“罗世钧院士。”
“国内传统光刻物镜这一块，绕不开他。”
罗世钧穿着灰色夹克，背挺得很直，眼神像磨旧的机床刀头，旧归旧，刃还利。
他伸出手。
“许总，久仰。”
许燃握住他的手。
“辛苦了。”
罗世钧看向许燃身后的地下通道。
“我们带来的东西，不能在普通会议室展开。”
“这里面有十七套高数值孔径物镜路线，两套极限备选方案，还有一批从没公开过的玻璃熔炼和镀膜数据。”
旁边一名中年专家补了一句：
“这是我们几十年一点点啃下来的家底。”
许燃点头。
“去地下二层密室。”
陈容与远程窗口一亮，忍不住插了一句：
“欢迎各位光学前辈莅临原子排队现场。”
老郑看了他一眼。
“你少说两句，没人把你当哑巴。”
陈容与立刻缩回去。
“收到，我安静。”
没人理他。
半小时后。
地下二层光学评审室。
所有加密箱开启。
一摞摞资料被摆上桌。
超低膨胀玻璃。
氟化钙晶体。
多组非球面镜。
超高精度镀膜。
主动热漂移补偿。
七十二点波前控制。
几名老专家站在屏幕前，讲得不快。
罗世钧指着主图。
“我们不否认烛龙的原子制造路线有突破。”
“可只要涉及光场诊断，只要涉及势阱闭合，就绕不开物镜。”
“阿贝极限不是一句口号。”
“数值孔径、波长、相干性、像差控制，这些东西不讲情面。”
他停顿一下，看向许燃。
“许总，你要做0.1纳米，我们支持。”
“但前端诊断物镜，不能靠想象。”
另一名老专家接过话。
“这套方案如果拿到完整供应链，能支撑国内7纳米验证。”
“再往前走，很难。”
“可在现有条件下，这已经是国内极限。”
会议室里没人打断。
秦立成坐在后排，听得手心冒汗。
这些老专家不是来拖后腿的。
他们是真把压箱底的东西带来了。
东西不新。
却是国内磨得最锋利的一套方案。
许燃翻资料的速度却越来越快。
第一页。
第三页。
第九页。
第二十七页。
罗世钧看着他的手，眉头慢慢皱起。
“许总，不用全看完？”
许燃把资料合上。
“看完了。”
屋里瞬间安静。
那名中年专家忍不住开口：
“这可是十七套方案。”
“有些波前模型，一页公式推导就够看半天。”
许燃抬头。
“结论一样。”
罗世钧盯着他。
“什么结论？”
许燃只说了两个字。
“落后。”
空气像一下子凝住了。
中年专家脸色当场沉下去。
“许总，这话过了吧？”
“我们承认你在能源、空天、原子制造上走到了前面。”
“可光学物镜这条路，我们这帮人走了一辈子。”
“你翻了几页，就说落后？”
另一名老人也开口：
“这套方案承载了几代人的心血。”
“为了那块玻璃，我们有人在炉前守了三个月。”
“为了一个镀膜窗口，我们报废过上百片基底。”
“落后两个字，太轻了。”
罗世钧没有拍桌子。
他只是把眼镜摘下来，慢慢擦了一遍。
“许总，我想听理由。”
张怀民看向许燃，没有劝。
他太清楚许燃。
这小子嘴狠。
可从来不空口伤人。
许燃站起来，走到屏幕前。
“我说落后，不是说你们落后。”
“是这套打法落后。”
他点开方案主图。
“多组镜片堆叠。”
“高数值孔径硬冲。”
“靠材料均匀性压像差。”
“靠主动补偿修热漂移。”
“靠更高加工精度去堵每一个误差口。”
“你们是在和阿贝极限硬碰硬。”
“就算打赢了，也只是追上西方昨天的路线。”
中年专家咬牙。
“那你说，不打阿贝极限，打什么？”
许燃看向周群。
“开测试台。”
周群已经站起来。
“普通光源？”
“普通光源。”
罗世钧眉头一跳。
“普通光源？”
“你拿普通光源测超分辨物镜？”
陈容与的远程窗口又亮了。
“罗院，先别急。”
“我们这边一向讲究朴素，能简单测，就不先上大阵仗。”
老郑直接关了他的麦。
周群把一套便携测试台推到桌前。
它不大。
没有庞大的真空腔和一人高的镜筒。
中间只放着一片薄薄的模块。
那东西看起来像几层透明薄片叠在一起。
边缘泛着一点暗灰色金属光。
中年专家看得一愣。
“这是什么？”
周群说：
“透镜模组。”
他把光路锁定。
罗世钧差点气笑。
“这也叫透镜？”
“遮光片都比它厚。”
许燃没有解释。
“上标准板。”
周群放入亚波长刻线样品。
普通光源点亮。
一束白光穿过那片薄得不像话的模组，落到探测屏上。
一开始，屏幕上只有模糊亮斑。
几秒后，简瑶接入边界态解码模型。
画面一跳。
原本该糊成一片的细微结构，被一点点撕开。
刻线。
断点。
边缘缺陷。
局部材料起伏。
全都露了出来。
会议室里没人说话。
罗世钧身体猛地前倾。
中年专家第一个反应过来。
“不可能。”
“探测器过采样。”
周群看向他。
“换。”
备用探测器接入。
结果不变。
另一名老人立刻说：
“算法重构。”
简瑶抬头。
“关掉补偿算法，只保留原始相位映射。”
画面再次刷新。
细节少了一点。
可超分辨结构还在。
罗世钧声音发紧。
“换样品。”
秦立成立刻让人送上另一块随机缺陷标定片。
周群重新校准光路。
白光穿过模组。
屏幕上又一次出现远超传统衍射极限的细节。
这一次，连那名中年专家都不说话了。
他盯着屏幕，眼神像被钉住一样。
“再换检测路径。”
简瑶直接把光源角度改掉。
“偏振态打乱。”
周群接上多角度偏振。
“环境噪声抬高。”
老郑把旁边一台老设备打开，让底噪往上飘。
屏幕闪了几下。
图像仍然稳住了。
罗世钧的手按在桌面上，指节微微发白。
“这不符合体相传播。”
许燃点头。
“所以我们不走体相。”
他走到测试台旁边，指了指那片极简透镜模组。
“负折射边缘态材料。”
“传统透镜让光穿过材料内部。”
“材料有折射率波动，就会带来像差。”
“你们用十几组镜片去修。”
“越修，系统越重。”
“系统越重，热漂移、装调误差、机械振动全都会进来。”
“我们换一条路。”
他手指落在模组边缘。
“光不从体相走，从边界走。”
罗世钧抬头。
“拓扑边缘态导光？”
简瑶接话。
“对。”
“材料内部可以有缺陷。”
“但边界态看的不是单个缺陷，而是整体拓扑结构。”
“只要边界闭合，光路就不会轻易被体相噪声拖垮。”
周群补了一句：
“负折射不是拿来炫技。”
“它把原本散掉的高频信息，从边界拖回来。”
“这并非正面突破阿贝极限。”
“而是绕开阿贝极限那张桌子。”
中年专家低声骂了一句。
“这也太不讲规矩了。”
老郑瞥他。
“科研讲的是结果。”
“能跑通，就是规矩。”
屋里终于响起几声压着的笑。
可笑声很快停了。
因为屏幕上，简瑶把A-17样片的势能谷线叠了进去。
那片十四年前被判死刑的废样片，在负折射边缘态物镜下，展现出另一层结构。
是表面势能的长程走向。
罗世钧猛地站起来。
“这东西能读晶圆表面势能？”
许燃点头。
“烛龙需要一双眼睛。”
“不是看光刻图案。”
“是看原子该往哪儿落。”
罗世钧走到测试台前，弯下腰。
他的动作很慢，像怕惊动什么。
“你们想用这几层边缘态材料，替代几十片高精密镜组？”
周群摇头。
“不是替代。”
“是重做。”
中年专家脸上挂不住了。
“重做容易。”
“工程化呢？”
“热稳定呢？”
“批量一致性呢？”
“边缘态材料良率呢？”
陈容与的麦又被他自己打开了。
“良率九十四点八。”
“昨天还九十一，今天凌晨刚抬上去。”
“暂时能看，但我不满意。”
罗世钧看向屏幕。
“九十四点八？”
陈容与点头。
“对，暂时的。”
“还得往上压。”
这下连张怀民都没忍住笑了一声。
罗世钧却笑不出来。
他把老式笔记本掏出来，手写了几行，又猛地停住。
“色散补偿怎么做？”
简瑶调出偏振耦合模型。
“不是传统色散补偿。”
“多极光源分频，边缘态透镜只负责锁住相位骨架。”
“色差不在镜组里修。”
“在光场势阱里消。”
罗世钧深吸一口气。
“场曲？”
周群说：
“拓扑边界映射。”
“畸变？”
许燃说：
“材料边界提前校正。”
“装调误差？”
老郑接话：
“少了几十片镜子，能调出来的误差也少了。”
中年专家张了张嘴。
半天没说出话。
他看了一眼桌上那摞厚资料，又看了一眼测试台上的薄片。
几十年堆出来的玻璃山，被一片薄薄的东西压得说不出声。
这感觉太难受。
又太痛快。
罗世钧忽然抬手，按住那名中年专家的肩膀。
“别争了。”
中年专家咬牙。
“老师……”
罗世钧盯着屏幕上的势能谷线。
“我们不是输给几层膜。”
“是新路线已经走到门口了。”
他沉默几秒，声音哑下来。
“许总，我问一句。”
许燃看着他。
罗世钧一字一顿。
“物镜系统，能推倒重来吗？”
会议室里所有目光都落到许燃身上。
许燃转身，打开地下五层的烛龙主腔结构图。
负折射边缘态透镜的位置，已经被标成红色。
他只回了一句。
“已经在推了。”
合作攻关组挂牌后的第一个清晨，303所门口来了三辆黑色通勤车。
车身没有标识。
车窗贴着深色防窥膜。
车门打开时，先下来的是两名安保，随后才是几个头发花白的老人。
他们每个人手里都拎着加密箱。
箱体上贴着红色封条。
【绝密光学资料】
秦立成站在门口迎接，声音压得很低。
“许总，他们到了。”
许燃从大厅里走出来，看了一眼队伍最前方的白发老人。
张怀民低声介绍：
“罗世钧院士。”
“国内传统光刻物镜这一块，绕不开他。”
罗世钧穿着灰色夹克，背挺得很直，眼神像磨旧的机床刀头，旧归旧，刃还利。
他伸出手。
“许总，久仰。”
许燃握住他的手。
“辛苦了。”
罗世钧看向许燃身后的地下通道。
“我们带来的东西，不能在普通会议室展开。”
“这里面有十七套高数值孔径物镜路线，两套极限备选方案，还有一批从没公开过的玻璃熔炼和镀膜数据。”
旁边一名中年专家补了一句：
“这是我们几十年一点点啃下来的家底。”
许燃点头。
“去地下二层密室。”
陈容与远程窗口一亮，忍不住插了一句：
“欢迎各位光学前辈莅临原子排队现场。”
老郑看了他一眼。
“你少说两句，没人把你当哑巴。”
陈容与立刻缩回去。
“收到，我安静。”
没人理他。
半小时后。
地下二层光学评审室。
所有加密箱开启。
一摞摞资料被摆上桌。
超低膨胀玻璃。
氟化钙晶体。
多组非球面镜。
超高精度镀膜。
主动热漂移补偿。
七十二点波前控制。
几名老专家站在屏幕前，讲得不快。
罗世钧指着主图。
“我们不否认烛龙的原子制造路线有突破。”
“可只要涉及光场诊断，只要涉及势阱闭合，就绕不开物镜。”
“阿贝极限不是一句口号。”
“数值孔径、波长、相干性、像差控制，这些东西不讲情面。”
他停顿一下，看向许燃。
“许总，你要做0.1纳米，我们支持。”
“但前端诊断物镜，不能靠想象。”
另一名老专家接过话。
“这套方案如果拿到完整供应链，能支撑国内7纳米验证。”
“再往前走，很难。”
“可在现有条件下，这已经是国内极限。”
会议室里没人打断。
秦立成坐在后排，听得手心冒汗。
这些老专家不是来拖后腿的。
他们是真把压箱底的东西带来了。
东西不新。
却是国内磨得最锋利的一套方案。
许燃翻资料的速度却越来越快。
第一页。
第三页。
第九页。
第二十七页。
罗世钧看着他的手，眉头慢慢皱起。
“许总，不用全看完？”
许燃把资料合上。
“看完了。”
屋里瞬间安静。
那名中年专家忍不住开口：
“这可是十七套方案。”
“有些波前模型，一页公式推导就够看半天。”
许燃抬头。
“结论一样。”
罗世钧盯着他。
“什么结论？”
许燃只说了两个字。
“落后。”
空气像一下子凝住了。
中年专家脸色当场沉下去。
“许总，这话过了吧？”
“我们承认你在能源、空天、原子制造上走到了前面。”
“可光学物镜这条路，我们这帮人走了一辈子。”
“你翻了几页，就说落后？”
另一名老人也开口：
“这套方案承载了几代人的心血。”
“为了那块玻璃，我们有人在炉前守了三个月。”
“为了一个镀膜窗口，我们报废过上百片基底。”
“落后两个字，太轻了。”
罗世钧没有拍桌子。
他只是把眼镜摘下来，慢慢擦了一遍。
“许总，我想听理由。”
张怀民看向许燃，没有劝。
他太清楚许燃。
这小子嘴狠。
可从来不空口伤人。
许燃站起来，走到屏幕前。
“我说落后，不是说你们落后。”
“是这套打法落后。”
他点开方案主图。
“多组镜片堆叠。”
“高数值孔径硬冲。”
“靠材料均匀性压像差。”
“靠主动补偿修热漂移。”
“靠更高加工精度去堵每一个误差口。”
“你们是在和阿贝极限硬碰硬。”
“就算打赢了，也只是追上西方昨天的路线。”
中年专家咬牙。
“那你说，不打阿贝极限，打什么？”
许燃看向周群。
“开测试台。”
周群已经站起来。
“普通光源？”
“普通光源。”
罗世钧眉头一跳。
“普通光源？”
“你拿普通光源测超分辨物镜？”
陈容与的远程窗口又亮了。
“罗院，先别急。”
“我们这边一向讲究朴素，能简单测，就不先上大阵仗。”
老郑直接关了他的麦。
周群把一套便携测试台推到桌前。
它不大。
没有庞大的真空腔和一人高的镜筒。
中间只放着一片薄薄的模块。
那东西看起来像几层透明薄片叠在一起。
边缘泛着一点暗灰色金属光。
中年专家看得一愣。
“这是什么？”
周群说：
“透镜模组。”
他把光路锁定。
罗世钧差点气笑。
“这也叫透镜？”
“遮光片都比它厚。”
许燃没有解释。
“上标准板。”
周群放入亚波长刻线样品。
普通光源点亮。
一束白光穿过那片薄得不像话的模组，落到探测屏上。
一开始，屏幕上只有模糊亮斑。
几秒后，简瑶接入边界态解码模型。
画面一跳。
原本该糊成一片的细微结构，被一点点撕开。
刻线。
断点。
边缘缺陷。
局部材料起伏。
全都露了出来。
会议室里没人说话。
罗世钧身体猛地前倾。
中年专家第一个反应过来。
“不可能。”
“探测器过采样。”
周群看向他。
“换。”
备用探测器接入。
结果不变。
另一名老人立刻说：
“算法重构。”
简瑶抬头。
“关掉补偿算法，只保留原始相位映射。”
画面再次刷新。
细节少了一点。
可超分辨结构还在。
罗世钧声音发紧。
“换样品。”
秦立成立刻让人送上另一块随机缺陷标定片。
周群重新校准光路。
白光穿过模组。
屏幕上又一次出现远超传统衍射极限的细节。
这一次，连那名中年专家都不说话了。
他盯着屏幕，眼神像被钉住一样。
“再换检测路径。”
简瑶直接把光源角度改掉。
“偏振态打乱。”
周群接上多角度偏振。
“环境噪声抬高。”
老郑把旁边一台老设备打开，让底噪往上飘。
屏幕闪了几下。
图像仍然稳住了。
罗世钧的手按在桌面上，指节微微发白。
“这不符合体相传播。”
许燃点头。
“所以我们不走体相。”
他走到测试台旁边，指了指那片极简透镜模组。
“负折射边缘态材料。”
“传统透镜让光穿过材料内部。”
“材料有折射率波动，就会带来像差。”
“你们用十几组镜片去修。”
“越修，系统越重。”
“系统越重，热漂移、装调误差、机械振动全都会进来。”
“我们换一条路。”
他手指落在模组边缘。
“光不从体相走，从边界走。”
罗世钧抬头。
“拓扑边缘态导光？”
简瑶接话。
“对。”
“材料内部可以有缺陷。”
“但边界态看的不是单个缺陷，而是整体拓扑结构。”
“只要边界闭合，光路就不会轻易被体相噪声拖垮。”
周群补了一句：
“负折射不是拿来炫技。”
“它把原本散掉的高频信息，从边界拖回来。”
“这并非正面突破阿贝极限。”
“而是绕开阿贝极限那张桌子。”
中年专家低声骂了一句。
“这也太不讲规矩了。”
老郑瞥他。
“科研讲的是结果。”
“能跑通，就是规矩。”
屋里终于响起几声压着的笑。
可笑声很快停了。
因为屏幕上，简瑶把A-17样片的势能谷线叠了进去。
那片十四年前被判死刑的废样片，在负折射边缘态物镜下，展现出另一层结构。
是表面势能的长程走向。
罗世钧猛地站起来。
“这东西能读晶圆表面势能？”
许燃点头。
“烛龙需要一双眼睛。”
“不是看光刻图案。”
“是看原子该往哪儿落。”
罗世钧走到测试台前，弯下腰。
他的动作很慢，像怕惊动什么。
“你们想用这几层边缘态材料，替代几十片高精密镜组？”
周群摇头。
“不是替代。”
“是重做。”
中年专家脸上挂不住了。
“重做容易。”
“工程化呢？”
“热稳定呢？”
“批量一致性呢？”
“边缘态材料良率呢？”
陈容与的麦又被他自己打开了。
“良率九十四点八。”
“昨天还九十一，今天凌晨刚抬上去。”
“暂时能看，但我不满意。”
罗世钧看向屏幕。
“九十四点八？”
陈容与点头。
“对，暂时的。”
“还得往上压。”
这下连张怀民都没忍住笑了一声。
罗世钧却笑不出来。
他把老式笔记本掏出来，手写了几行，又猛地停住。
“色散补偿怎么做？”
简瑶调出偏振耦合模型。
“不是传统色散补偿。”
“多极光源分频，边缘态透镜只负责锁住相位骨架。”
“色差不在镜组里修。”
“在光场势阱里消。”
罗世钧深吸一口气。
“场曲？”
周群说：
“拓扑边界映射。”
“畸变？”
许燃说：
“材料边界提前校正。”
“装调误差？”
老郑接话：
“少了几十片镜子，能调出来的误差也少了。”
中年专家张了张嘴。
半天没说出话。
他看了一眼桌上那摞厚资料，又看了一眼测试台上的薄片。
几十年堆出来的玻璃山，被一片薄薄的东西压得说不出声。
这感觉太难受。
又太痛快。
罗世钧忽然抬手，按住那名中年专家的肩膀。
“别争了。”
中年专家咬牙。
“老师……”
罗世钧盯着屏幕上的势能谷线。
“我们不是输给几层膜。”
“是新路线已经走到门口了。”
他沉默几秒，声音哑下来。
“许总，我问一句。”
许燃看着他。
罗世钧一字一顿。
“物镜系统，能推倒重来吗？”
会议室里所有目光都落到许燃身上。
许燃转身，打开地下五层的烛龙主腔结构图。
负折射边缘态透镜的位置，已经被标成红色。
他只回了一句。
“已经在推了。”