第642章 不可能完成的任务分配表
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801项目组的第二次全体会议，气氛比上一次要沉重得多。
如果说上一次会议是“吹响号角，鼓舞士气”，那么这一次，就是“直面现实，正视差距”。
巨大的会议桌上，摊着写满了“不具备”的摸底报告。
每一个刺眼的红色叉号，令在场不少专家的肩膀都垮了下来。
“同志们，情况就是这么个情况。”
林振的目光平静的扫过众人，眉宇间一片舒展，看不到半点阴霾。
“我们想吃肉，可现在别说肉了，连口锅都没有。甚至连柴火，都得自己去山上砍。”
他这个比喻，让会议室里沉重的气氛，稍微缓和了一点。
“但是，”林振看着众人脸上或凝重或茫然的表情，“我从来不觉得，不具备，就等于不可能。”
他走到黑板前，拿起粉笔。
“今天，我们不谈困难。我们就谈一件事：怎么把这些不具备，变成具备。”
他把报告里列出的七大缺口，一一写在黑板上。
高纯硅片、光学玻璃、光刻胶、掩膜版、工件台、洁净室……
“这些东西，不是孤立的。”
林振说道。
“光刻机，不是一台孤零零的设备。它是一个庞大系统工程的最终产物。它的背后，是整个半导体材料和工艺的支撑。”
“所以，我们的801工程，不能仅仅是一个光刻机攻关项目。它必须是一个半导体全产业链自主化攻关项目。”
“从拉制单晶硅的炉子，到研磨镜片的磨料，从提纯化学试剂的设备，到净化空气的过滤器，所有的一切，我们都要自己做！”
林振的这番话，让所有人都倒吸了一口凉气。
只造一台光刻机，就已经难如登天了。
现在，还要把整个产业链都给包了？
这……这胃口也太大了吧！
就在众人议论纷纷，觉得这个目标太过宏大，不切实际的时候。
魏云梦站了起来。
她走到另一块黑板前，一言不发，开始在上面书写。
她写的，是一套复杂的数学模型，名为“总误差预算分配模型”。
“这是我根据林振提出的六大系统，建立的初步误差模型。”
魏云梦写完最后一个符号，清冷的声音响彻全场。
“根据初步估算，如果我们第一代光刻机的目标线宽是10微米，那么，整机的套刻精度误差，必须控制在1微米以内。”
“这个1微米的误差，是由六大系统的所有误差，叠加而成的。”
她指着黑板上密密麻麻的公式。
“这里面，包括了镜头畸变带来的光学误差，工件台运动带来的机械误差，掩膜版制造带来的图形误差，温度变化带来的热形变误差，等等等等，总共一百七十多个误差源。”
“如果我们简单地把各个系统的误差，直接相加。那么，就算每个系统都做到了我们目前能达到的最好水平，最终的累积误差，也会超过五十微米。”
“这表示，我们造出来的机器，根本就是一堆废铁。”
魏云梦的话，很残酷，却无比现实。
她用冷冰冰的数学，向所有人揭示了一个绝望的事实：
即使他们把每一件事都做到最好，最终的结果，依然是失败。
因为，各个子系统的误差，会像滚雪球一样，被无限放大。
会议室里，再次陷入了死一般的沉寂。
如果说，刚才林振的话，是让大家看到了困难的广度。
那么现在，魏云梦的数学模型，就是让大家感受到了困难的深度。
这似乎真的是一个不可能完成的任务。
就在所有人都感到绝望的时候。
林振又一次站了出来。
他走到魏云梦的黑板前，拿起另一支不同颜色的粉笔。
“云梦算的，没有错。”
他看着复杂的公式，眼神里非但没有畏惧，反而充满了兴奋。
“可是，她只算对了一半。”
“误差，不是只能简单叠加的。”
林振的声音充满了自信。
“既然我们知道了总的误差预算，是1微米。那么，我们就可以把这个总任务，分解下去。”
他开始在魏云梦的公式旁边，写下新的内容。
“我们可以像分蛋糕一样，把这1微米的误差，分配给六大系统。”
“比如，光学系统，你们技术最难，我给你们最大的容忍度，0.4微米。”
“工件台系统，你们是运动部件，误差源多，我给你们0.3微米。”
“掩膜版系统，0.1微米。”
“照明系统，0.1微米。”
“剩下的0.1微米，留给环境和其他不确定因素。”
林振的笔在黑板上飞快的移动着。
他不仅仅是简单地分配了一个数字。
在每个数字的后面，他又拉出了一个长长的分支，把这个系统的总误差，进一步分解到每一个具体的零件，每一个具体的工艺环节。
镜头的曲率、镜片的同轴度、导轨的直线度、电机的步进精度、温控的波动范围……
一个又一个具体的，可量化的技术指标，出现在黑板上。
原本那个笼统的，令人望而生畏的1微米，就这样，被他拆解成了一张由上百个子任务组成的，清晰无比的任务分配表。
看着黑板上堪称艺术品的任务分解图，所有人都看傻了。
他们终于明白，林振的信心从何而来。
他已经把通往山顶的每一步台阶，都清清楚楚的规划了出来。
他们要做的是沿着这条清晰的路径，一步一个脚印地，把这些台阶，一块一块的铺好。
“不可能”，就这样，变成了一张可以执行的任务表。
“怎么样？各位专家。”
林振放下粉笔，看着众人。
“现在，还有人觉得，这是不可能完成的任务吗？”
没有人回答。
回答他的，是所有人眼中，重新燃起的，熊熊的火焰。
“不过……”
在这时，光学所的老所长，却站了起来，他指着黑板上的一个分支，提出了一个非常现实的问题。
“林总师，您的分解方法非常高明。只是，按照这个指标，我们的投影物镜，在短期内，根本不可能实现。”
“我有一个不成熟的建议。我们是不是可以先退一步，采用一种更简单的曝光方式，来验证我们的材料和工艺？”
“比如，接触式曝光，把掩膜版，直接压在涂有光刻胶的硅片上，进行曝光。”
801项目组的第二次全体会议，气氛比上一次要沉重得多。
如果说上一次会议是“吹响号角，鼓舞士气”，那么这一次，就是“直面现实，正视差距”。
巨大的会议桌上，摊着写满了“不具备”的摸底报告。
每一个刺眼的红色叉号，令在场不少专家的肩膀都垮了下来。
“同志们，情况就是这么个情况。”
林振的目光平静的扫过众人，眉宇间一片舒展，看不到半点阴霾。
“我们想吃肉，可现在别说肉了，连口锅都没有。甚至连柴火，都得自己去山上砍。”
他这个比喻，让会议室里沉重的气氛，稍微缓和了一点。
“但是，”林振看着众人脸上或凝重或茫然的表情，“我从来不觉得，不具备，就等于不可能。”
他走到黑板前，拿起粉笔。
“今天，我们不谈困难。我们就谈一件事：怎么把这些不具备，变成具备。”
他把报告里列出的七大缺口，一一写在黑板上。
高纯硅片、光学玻璃、光刻胶、掩膜版、工件台、洁净室……
“这些东西，不是孤立的。”
林振说道。
“光刻机，不是一台孤零零的设备。它是一个庞大系统工程的最终产物。它的背后，是整个半导体材料和工艺的支撑。”
“所以，我们的801工程，不能仅仅是一个光刻机攻关项目。它必须是一个半导体全产业链自主化攻关项目。”
“从拉制单晶硅的炉子，到研磨镜片的磨料，从提纯化学试剂的设备，到净化空气的过滤器，所有的一切，我们都要自己做！”
林振的这番话，让所有人都倒吸了一口凉气。
只造一台光刻机，就已经难如登天了。
现在，还要把整个产业链都给包了？
这……这胃口也太大了吧！
就在众人议论纷纷，觉得这个目标太过宏大，不切实际的时候。
魏云梦站了起来。
她走到另一块黑板前，一言不发，开始在上面书写。
她写的，是一套复杂的数学模型，名为“总误差预算分配模型”。
“这是我根据林振提出的六大系统，建立的初步误差模型。”
魏云梦写完最后一个符号，清冷的声音响彻全场。
“根据初步估算，如果我们第一代光刻机的目标线宽是10微米，那么，整机的套刻精度误差，必须控制在1微米以内。”
“这个1微米的误差，是由六大系统的所有误差，叠加而成的。”
她指着黑板上密密麻麻的公式。
“这里面，包括了镜头畸变带来的光学误差，工件台运动带来的机械误差，掩膜版制造带来的图形误差，温度变化带来的热形变误差，等等等等，总共一百七十多个误差源。”
“如果我们简单地把各个系统的误差，直接相加。那么，就算每个系统都做到了我们目前能达到的最好水平，最终的累积误差，也会超过五十微米。”
“这表示，我们造出来的机器，根本就是一堆废铁。”
魏云梦的话，很残酷，却无比现实。
她用冷冰冰的数学，向所有人揭示了一个绝望的事实：
即使他们把每一件事都做到最好，最终的结果，依然是失败。
因为，各个子系统的误差，会像滚雪球一样，被无限放大。
会议室里，再次陷入了死一般的沉寂。
如果说，刚才林振的话，是让大家看到了困难的广度。
那么现在，魏云梦的数学模型，就是让大家感受到了困难的深度。
这似乎真的是一个不可能完成的任务。
就在所有人都感到绝望的时候。
林振又一次站了出来。
他走到魏云梦的黑板前，拿起另一支不同颜色的粉笔。
“云梦算的，没有错。”
他看着复杂的公式，眼神里非但没有畏惧，反而充满了兴奋。
“可是，她只算对了一半。”
“误差，不是只能简单叠加的。”
林振的声音充满了自信。
“既然我们知道了总的误差预算，是1微米。那么，我们就可以把这个总任务，分解下去。”
他开始在魏云梦的公式旁边，写下新的内容。
“我们可以像分蛋糕一样，把这1微米的误差，分配给六大系统。”
“比如，光学系统，你们技术最难，我给你们最大的容忍度，0.4微米。”
“工件台系统，你们是运动部件，误差源多，我给你们0.3微米。”
“掩膜版系统，0.1微米。”
“照明系统，0.1微米。”
“剩下的0.1微米，留给环境和其他不确定因素。”
林振的笔在黑板上飞快的移动着。
他不仅仅是简单地分配了一个数字。
在每个数字的后面，他又拉出了一个长长的分支，把这个系统的总误差，进一步分解到每一个具体的零件，每一个具体的工艺环节。
镜头的曲率、镜片的同轴度、导轨的直线度、电机的步进精度、温控的波动范围……
一个又一个具体的，可量化的技术指标，出现在黑板上。
原本那个笼统的，令人望而生畏的1微米，就这样，被他拆解成了一张由上百个子任务组成的，清晰无比的任务分配表。
看着黑板上堪称艺术品的任务分解图，所有人都看傻了。
他们终于明白，林振的信心从何而来。
他已经把通往山顶的每一步台阶，都清清楚楚的规划了出来。
他们要做的是沿着这条清晰的路径，一步一个脚印地，把这些台阶，一块一块的铺好。
“不可能”，就这样，变成了一张可以执行的任务表。
“怎么样？各位专家。”
林振放下粉笔，看着众人。
“现在，还有人觉得，这是不可能完成的任务吗？”
没有人回答。
回答他的，是所有人眼中，重新燃起的，熊熊的火焰。
“不过……”
在这时，光学所的老所长，却站了起来，他指着黑板上的一个分支，提出了一个非常现实的问题。
“林总师，您的分解方法非常高明。只是，按照这个指标，我们的投影物镜，在短期内，根本不可能实现。”
“我有一个不成熟的建议。我们是不是可以先退一步，采用一种更简单的曝光方式，来验证我们的材料和工艺？”
“比如，接触式曝光，把掩膜版，直接压在涂有光刻胶的硅片上，进行曝光。”