第644章 空气里全是“拦路虎”
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“这……这怎么可能？”
负责操作的研究员，看着显微镜下的景象，整个人都傻了。
为了这次实验，他们已经做了最充分的准备。
整个房间，在实验前，用消毒水和酒精，擦洗了三遍。
所有的实验人员，都换上了白大褂，戴上了口罩和帽子。
在他们看来，这已经是他们能做到的，最干净的环境了。
可结果，依旧如此。
消息传到801项目组的每日例会上，所有人一下子没了声音。
“我去看过现场了。”
化工所的负责人，一个五十多岁的老教授，一脸的无奈。
“我们用高倍显微镜观察了一下，发现落在硅片上的灰尘，尺寸从几微米到几十微米不等。”
他顿了顿，说出了一个更令人绝望的数据。
“而我们第一代光刻机，要加工的线宽，是10微米。”
换言之，空气中随处飘荡的一粒微小灰尘，它的尺寸，就可能比他们要制造的整个电路，还要大。
“这些灰尘，落在硅片上，就像在高速公路上，扔了一块大石头。”
林振替他做了总结。
“如果是在光刻胶下面，它会导致光刻胶凸起，曝光失真，形成针孔。”
“如果是在光刻胶上面，它会挡住光线，导致下面的光刻胶无法曝光，形成断线。”
“无论是哪一种，结果都是灾难性的。”
“我们甚至还没开始跑，就已经被这些看不见的拦路虎，给绊倒了。”
一个年轻的研究员，沮丧的说道。
“问题出在哪里？”
林振问道。
“问题出在……空气。”
老教授苦笑着回答。
“我们现在才明白，我们平时呼吸的，看似洁净的空气，对于微米级的半导体制造来说，到底有多脏。”
“我们缺少一套，能够有效过滤空气中微小颗粒，并且维持室内环境高度洁净的系统。”
“也就是林总师您之前说的，洁净室。”
所有人的目光，再次聚焦到林振身上。
又是林振。
似乎所有他们遇到的，想不通，解决不了的难题，林振早就已经预见到，并且给出了答案。
“我这里，有一套洁净室的设计方案。”
林振不想卖关子，他让耿欣荣把早就准备好的图纸，分发给众人。
“这套方案的核心，是三个东西：分区、正压、和过滤。”
林振指着图纸，开始讲解。
“首先，是分区。”
“我们要把整个实验区域，按照洁净度的不同，划分为不同的等级。比如，百级区，千级区，万级区。”
“越是核心的操作，就要在越高等级的洁净区里进行。人员和物料，必须按照规定的流线，单向流动，不能交叉，不能逆行。”
“其次，是正压。”
“我们要让洁净室内的气压，始终高于室外的气压。这样一来，空气就只会从室内往室外流，室外那些‘脏’空气，就流不进来了。”
“最后，也是最关键的，是过滤。”
林振在图纸上，画出了一个巨大的风机和复杂的管道系统。
“我们要用强大的风机，把室外的空气，抽进来。然后，让这些空气，通过一个由高效空气过滤器组成的过滤墙，把里面99.99%的灰尘，都过滤掉。”
“过滤后的洁净空气，从天花板上，均匀地吹下来，形成一个垂直的单向气流，把室内产生的灰尘，都压到地面上，然后从地面的回风口，抽走。”
“人员进出，必须经过一个叫做风淋室的房间，用高速的洁净气流，吹掉身上携带的灰尘。”
“地面，要铺设带有粘性的地板，把鞋底的灰尘粘住。”
“所有的人，都必须穿上特制的，不产尘的洁净服，戴上头套、口罩、手套，把自己从头到脚，包得严严实实。”
林振描述的这个场景，让在场的所有人，都听得目瞪口呆。
这哪里是实验室，这简直比医院的手术室，还要夸张！
“林……林总师……”
材料所的所长，艰难的咽了口唾沫。
“您说的都很好，可是……您说的那个，能过滤掉99.99%灰尘的高效空气过滤器，我们……我们没有啊。”
又是一个没有。
“没有，就造。”
林振的回答，一如既往的简单粗暴。
“过滤器的原理，很简单。就是用极细的纤维，织成一张网。纤维越细，网的孔隙就越小，过滤效果就越好。”
“我建议，材料所的同志们，可以去试试超细玻璃纤维。把玻璃，拉成几微米，甚至亚微米级别的细丝，然后通过静电纺丝或者熔喷工艺，制成无纺布滤芯。”
“如果玻璃纤维暂时做不到，也可以试试多层复合滤纸。用不同孔径的植物纤维滤纸，叠加在一起，也能起到一定的过滤效果。”
林振再次展现了他那堪称恐怖的，跨学科知识储备。
连滤芯的具体制造工艺，都说得头头是道。
材料所的所长，听得一愣一愣的，赶紧拿出小本本，把林振说的每一个字，都记了下来。
半个月后。
在749院全体工程技术人员的努力下。
龙国的第一个，真正意义上的百级洁净室，终于在一片废墟上，拔地而起。
虽然它的墙壁，是拿木板和塑料布临时搭建的。
虽然它的高效过滤器，是用土法制造的玻璃纤维和多层滤纸，拼凑而成的。
虽然它的洁净服，是拿普通的白布，找被服厂的老师傅，连夜赶工缝出来的。
可当粒子计数器上的读数，从室外的几百万，骤降到室内的几百时。
当第一缕经过过滤的，洁净的空气，从天花板上吹下来时。
所有参与建设的人，都流下了激动的泪水。
801工程，最基础，也是最重要的一道关卡，终于被他们攻克了。
林振站在洁净室门口，看着里面忙碌的身影，心里也颇为感慨。
这套洁净室的标准和技术，在未来，不仅仅能服务于半导体制造。
它还可以用于人工胰岛素的无菌生产，可以用于微型轴承的精密加工，可以用于精密雷达元件的组装……
它将像一颗种子，在龙国现代工业的各个领域，生根发芽。
就在所有人都以为，可以松一口气，准备大干一场的时候。
一个更棘手的问题，又冒了出来。
洁净室里，化工所的研究员，终于可以安心的，在光洁的硅片上，均匀的涂上一层紫色的光刻胶。
他谨慎的把涂好胶的硅片，放进接触式曝光机里。
打开紫外灯，曝光了三十秒。
然后，他取出硅片，准备进行下一步的显影。
可就在他拿起硅片的一瞬间。
诡异的一幕，发生了。
硅片上那层漂亮的，紫色的光刻胶，竟然像一块受潮的墙皮一样，整片整片，从硅片表面脱落了下来。
“这……这怎么可能？”
负责操作的研究员，看着显微镜下的景象，整个人都傻了。
为了这次实验，他们已经做了最充分的准备。
整个房间，在实验前，用消毒水和酒精，擦洗了三遍。
所有的实验人员，都换上了白大褂，戴上了口罩和帽子。
在他们看来，这已经是他们能做到的，最干净的环境了。
可结果，依旧如此。
消息传到801项目组的每日例会上，所有人一下子没了声音。
“我去看过现场了。”
化工所的负责人，一个五十多岁的老教授，一脸的无奈。
“我们用高倍显微镜观察了一下，发现落在硅片上的灰尘，尺寸从几微米到几十微米不等。”
他顿了顿，说出了一个更令人绝望的数据。
“而我们第一代光刻机，要加工的线宽，是10微米。”
换言之，空气中随处飘荡的一粒微小灰尘，它的尺寸，就可能比他们要制造的整个电路，还要大。
“这些灰尘，落在硅片上，就像在高速公路上，扔了一块大石头。”
林振替他做了总结。
“如果是在光刻胶下面，它会导致光刻胶凸起，曝光失真，形成针孔。”
“如果是在光刻胶上面，它会挡住光线，导致下面的光刻胶无法曝光，形成断线。”
“无论是哪一种，结果都是灾难性的。”
“我们甚至还没开始跑，就已经被这些看不见的拦路虎，给绊倒了。”
一个年轻的研究员，沮丧的说道。
“问题出在哪里？”
林振问道。
“问题出在……空气。”
老教授苦笑着回答。
“我们现在才明白，我们平时呼吸的，看似洁净的空气，对于微米级的半导体制造来说，到底有多脏。”
“我们缺少一套，能够有效过滤空气中微小颗粒，并且维持室内环境高度洁净的系统。”
“也就是林总师您之前说的，洁净室。”
所有人的目光，再次聚焦到林振身上。
又是林振。
似乎所有他们遇到的，想不通，解决不了的难题，林振早就已经预见到，并且给出了答案。
“我这里，有一套洁净室的设计方案。”
林振不想卖关子，他让耿欣荣把早就准备好的图纸，分发给众人。
“这套方案的核心，是三个东西：分区、正压、和过滤。”
林振指着图纸，开始讲解。
“首先，是分区。”
“我们要把整个实验区域，按照洁净度的不同，划分为不同的等级。比如，百级区，千级区，万级区。”
“越是核心的操作，就要在越高等级的洁净区里进行。人员和物料，必须按照规定的流线，单向流动，不能交叉，不能逆行。”
“其次，是正压。”
“我们要让洁净室内的气压，始终高于室外的气压。这样一来，空气就只会从室内往室外流，室外那些‘脏’空气，就流不进来了。”
“最后，也是最关键的，是过滤。”
林振在图纸上，画出了一个巨大的风机和复杂的管道系统。
“我们要用强大的风机，把室外的空气，抽进来。然后，让这些空气，通过一个由高效空气过滤器组成的过滤墙，把里面99.99%的灰尘，都过滤掉。”
“过滤后的洁净空气，从天花板上，均匀地吹下来，形成一个垂直的单向气流，把室内产生的灰尘，都压到地面上，然后从地面的回风口，抽走。”
“人员进出，必须经过一个叫做风淋室的房间，用高速的洁净气流，吹掉身上携带的灰尘。”
“地面，要铺设带有粘性的地板，把鞋底的灰尘粘住。”
“所有的人，都必须穿上特制的，不产尘的洁净服，戴上头套、口罩、手套，把自己从头到脚，包得严严实实。”
林振描述的这个场景，让在场的所有人，都听得目瞪口呆。
这哪里是实验室，这简直比医院的手术室，还要夸张！
“林……林总师……”
材料所的所长，艰难的咽了口唾沫。
“您说的都很好，可是……您说的那个，能过滤掉99.99%灰尘的高效空气过滤器，我们……我们没有啊。”
又是一个没有。
“没有，就造。”
林振的回答，一如既往的简单粗暴。
“过滤器的原理，很简单。就是用极细的纤维，织成一张网。纤维越细，网的孔隙就越小，过滤效果就越好。”
“我建议，材料所的同志们，可以去试试超细玻璃纤维。把玻璃，拉成几微米，甚至亚微米级别的细丝，然后通过静电纺丝或者熔喷工艺，制成无纺布滤芯。”
“如果玻璃纤维暂时做不到，也可以试试多层复合滤纸。用不同孔径的植物纤维滤纸，叠加在一起，也能起到一定的过滤效果。”
林振再次展现了他那堪称恐怖的，跨学科知识储备。
连滤芯的具体制造工艺，都说得头头是道。
材料所的所长，听得一愣一愣的，赶紧拿出小本本，把林振说的每一个字，都记了下来。
半个月后。
在749院全体工程技术人员的努力下。
龙国的第一个，真正意义上的百级洁净室，终于在一片废墟上，拔地而起。
虽然它的墙壁，是拿木板和塑料布临时搭建的。
虽然它的高效过滤器，是用土法制造的玻璃纤维和多层滤纸，拼凑而成的。
虽然它的洁净服，是拿普通的白布，找被服厂的老师傅，连夜赶工缝出来的。
可当粒子计数器上的读数，从室外的几百万，骤降到室内的几百时。
当第一缕经过过滤的，洁净的空气，从天花板上吹下来时。
所有参与建设的人，都流下了激动的泪水。
801工程，最基础，也是最重要的一道关卡，终于被他们攻克了。
林振站在洁净室门口，看着里面忙碌的身影，心里也颇为感慨。
这套洁净室的标准和技术，在未来，不仅仅能服务于半导体制造。
它还可以用于人工胰岛素的无菌生产，可以用于微型轴承的精密加工，可以用于精密雷达元件的组装……
它将像一颗种子，在龙国现代工业的各个领域，生根发芽。
就在所有人都以为，可以松一口气，准备大干一场的时候。
一个更棘手的问题，又冒了出来。
洁净室里，化工所的研究员，终于可以安心的，在光洁的硅片上，均匀的涂上一层紫色的光刻胶。
他谨慎的把涂好胶的硅片，放进接触式曝光机里。
打开紫外灯，曝光了三十秒。
然后，他取出硅片，准备进行下一步的显影。
可就在他拿起硅片的一瞬间。
诡异的一幕，发生了。
硅片上那层漂亮的，紫色的光刻胶，竟然像一块受潮的墙皮一样，整片整片，从硅片表面脱落了下来。