第663章 显影，刻出微米级迷宫
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紫外光束亮起又马上熄灭，全程不到一秒。
主控台前的倒计时归零，整个洁净室静然一片。
“完了？”化工所的李教授瞪着布满血丝的眼睛，哑着声音问，“这才多大点功夫，是不是机器断电了？”
在老一辈科研人员的认知里，就是去照相馆洗个相片，那也得在暗室的显影液里泡上半天。
这造最先进的芯片，曝光连眨眼功夫都不到，完全违背了他们积累几十年的常识。
“没断电，曝光已经完成。”林振正色回应，抬了抬下巴指着气浮工件台，“把硅片取出来，送去显影室。”
李教授没敢叫旁人，自己套上厚重的防酸橡胶手套，抓起一把定制的绝缘镊子。
他这把老骨头平时端满杯的热水都不洒一滴，现在捏着镊子的手却止不住的发抖。
这六英寸的单晶硅片，是国家勒紧裤腰带花天价外汇换回来的无价之宝。
如果因为他取片的手法重了导致报废，他拿命都赔不起。
他小心把硅片夹进培养皿。
在众人注视下，硅片表面光洁平整，肉眼看不出半点异样。
“林总师，这上面啥也没有啊。”耿欣荣凑近看了看，小声咕哝。
魏云梦站在林振身侧，道：“光刻胶发生的是分子层面的光化学反应，你用肉眼当然看不出来。”
从光刻机到隔壁显影室只有十几步路。
李教授端着培养皿，步子迈得又重又慢。
他走得极为庄重，生怕自己带起的微风吹进灰尘，毁了林振亲手画在上面的两千个晶体管版图。
显影室的防爆玻璃实验台上，摆着几瓶刚调配好的药水。
玻璃瓶上贴着红纸标签，用毛笔工整写着“K1型显影液-绝密”。
这是林振给出的配方，化工所的人熬了好几个大夜，经过反复提纯才弄出来的心血。
李教授拿起玻璃滴管，吸了小半管显影液。
他的手又开始抖了。
他咽了口干涩的唾沫，强行压住腕子的颤动，把显影液轻柔的滴在硅片正中央。
透明的药水在硅圆片上缓缓散开。
围在旁边的十几双眼睛全瞪得老大，连大气都不敢喘，目不转睛的盯着培养皿。
一秒、两秒、十秒……
二十秒过去了，硅片表面连个气泡都没冒出来。
“怎么没反应？”材料所所长满头大汗，声音又重又急。
李教授的腿有些发软，他扶着实验台的边缘，哑着声音自责：“是不是我刚才显影液滴的量不够？还是咱们调配的K1药水浓度差了火候？这片硅不会是废了吧？”
他心疼国家的外汇，眼眶直接红了。
大家心里七上八下，冷汗直冒。
林振迈步走近，温润开口：“别急，再等等。我们用的这款光刻胶属于负性胶，显影原理是利用溶剂把没被紫外光照射到的部分溶解掉，留下发生交联反应的曝光区。化学键断裂重组，需要时间。”
他抛出的这套理论，对现在的科研人员来说就是降维打击。
大家听不懂交联反应的具体机制，可出于对林振毫无保留的信任，原本躁动恐慌的情绪逐渐被安抚下来。
又过了整整三十秒。
林振抬手瞄了一眼腕表：“时间到，上显微镜。”
李教授赶紧把培养皿移到高倍金相显微镜下。
他双手扶着镜筒，凑上右眼，转动调焦旋钮。视野从模糊逐渐变得清晰。
当焦距完全对准的一刻，李教授整个人僵在原地。
他连呼吸都停了，半张着嘴，愣是半天没吐出一个字。
“怎么了老李？你倒是出个声啊！成没成？”卢子真急得直跺脚，不满的道。
李教授没说话，他眼角滚下两行热泪，身子往旁边一偏，把显微镜的位置让了出来。
卢子真一把推开材料所所长，自己把眼睛贴在目镜上。
下一刻，卢子真也变成了木头人，嘴里发出断断续续的抽气声。
视野里，那片原本平滑无物的硅片上，真真切切出现了一座微型城市。
无数条细小到只有头发丝百分之一的线条，在上面纵横交错，构成了一个庞大而复杂的迷宫。
横平竖直，拐角锐利。
每一条沟壑的边缘都平整得像是用最锋利的铡刀切出来的一般，没断线，更没半点毛刺虚影。
这是超脱了这个时代工业极限的完美精度，是微观世界里的宏伟建筑。
“成功了……”卢子真直起身，眼底全是狂热的喜悦，“零点八微米线宽的图纸，完完整整的印在上面了！”
整个显影室蓦然炸响，掌声与欢呼震耳欲聋。
大家抱在一起又跳又笑。
李教授瘫坐在旁边的木椅子上，摘下老花镜抹眼泪，笑着道：“我干了大半辈子化学，成天跟刺鼻的酸碱打交道。今天这眼界算是彻底被林总师打开了，这显微镜底下的化学线条，简直比画报上的天安门还俊！”
显影成功，这只是万里长征迈出了第一步。
接下来的刻蚀和离子掺杂，才是真正将迷宫挖出来、赋予其灵魂的硬仗。
放在以前，无论是酸液腐蚀还是高温掺杂，全凭着老师傅的经验去赌。
酸液浓了，线条就被溶断；掺杂温度高了，硅片直接报废。
每次流片，报废率高得吓人，大家都是提心吊胆的摸黑过河。
可今天，情况截然不同。
化工所和材料所的研究员们手里，捏着林振给出的全套操作规程。
“刻蚀液温度设定三十度，浸泡时间精确到四十五秒。”
“离子注入机，能量调至五十千电子伏特，剂量确认。”
这些详尽到个位数的参数，直接填补了龙国在半导体工艺上几十年的空白。
有了林振这根定海神针，大家操作起来行云流水，不再有过去的盲目和慌乱。
每一次药水浸泡，每一次清洗烘干，都严格按照规程正确执行。
蓝色的火苗在退火炉里稳定燃烧，真空泵发出低沉有力的轰鸣声。
随着最后一道铝制金属化布线完成，那片历经十几道繁杂工序的六英寸晶圆，平稳送出机台。
林振站在长条工作台前，看着这片泛着金属光泽的硅圆片，神色冷沉中透着绝对的掌控力。
接下来，只需要把它切割、封装。
那枚承载着龙国第一台微型计算机希望的龙芯一号，就将正式向全世界宣告它的诞生。
紫外光束亮起又马上熄灭，全程不到一秒。
主控台前的倒计时归零，整个洁净室静然一片。
“完了？”化工所的李教授瞪着布满血丝的眼睛，哑着声音问，“这才多大点功夫，是不是机器断电了？”
在老一辈科研人员的认知里，就是去照相馆洗个相片，那也得在暗室的显影液里泡上半天。
这造最先进的芯片，曝光连眨眼功夫都不到，完全违背了他们积累几十年的常识。
“没断电，曝光已经完成。”林振正色回应，抬了抬下巴指着气浮工件台，“把硅片取出来，送去显影室。”
李教授没敢叫旁人，自己套上厚重的防酸橡胶手套，抓起一把定制的绝缘镊子。
他这把老骨头平时端满杯的热水都不洒一滴，现在捏着镊子的手却止不住的发抖。
这六英寸的单晶硅片，是国家勒紧裤腰带花天价外汇换回来的无价之宝。
如果因为他取片的手法重了导致报废，他拿命都赔不起。
他小心把硅片夹进培养皿。
在众人注视下，硅片表面光洁平整，肉眼看不出半点异样。
“林总师，这上面啥也没有啊。”耿欣荣凑近看了看，小声咕哝。
魏云梦站在林振身侧，道：“光刻胶发生的是分子层面的光化学反应，你用肉眼当然看不出来。”
从光刻机到隔壁显影室只有十几步路。
李教授端着培养皿，步子迈得又重又慢。
他走得极为庄重，生怕自己带起的微风吹进灰尘，毁了林振亲手画在上面的两千个晶体管版图。
显影室的防爆玻璃实验台上，摆着几瓶刚调配好的药水。
玻璃瓶上贴着红纸标签，用毛笔工整写着“K1型显影液-绝密”。
这是林振给出的配方，化工所的人熬了好几个大夜，经过反复提纯才弄出来的心血。
李教授拿起玻璃滴管，吸了小半管显影液。
他的手又开始抖了。
他咽了口干涩的唾沫，强行压住腕子的颤动，把显影液轻柔的滴在硅片正中央。
透明的药水在硅圆片上缓缓散开。
围在旁边的十几双眼睛全瞪得老大，连大气都不敢喘，目不转睛的盯着培养皿。
一秒、两秒、十秒……
二十秒过去了，硅片表面连个气泡都没冒出来。
“怎么没反应？”材料所所长满头大汗，声音又重又急。
李教授的腿有些发软，他扶着实验台的边缘，哑着声音自责：“是不是我刚才显影液滴的量不够？还是咱们调配的K1药水浓度差了火候？这片硅不会是废了吧？”
他心疼国家的外汇，眼眶直接红了。
大家心里七上八下，冷汗直冒。
林振迈步走近，温润开口：“别急，再等等。我们用的这款光刻胶属于负性胶，显影原理是利用溶剂把没被紫外光照射到的部分溶解掉，留下发生交联反应的曝光区。化学键断裂重组，需要时间。”
他抛出的这套理论，对现在的科研人员来说就是降维打击。
大家听不懂交联反应的具体机制，可出于对林振毫无保留的信任，原本躁动恐慌的情绪逐渐被安抚下来。
又过了整整三十秒。
林振抬手瞄了一眼腕表：“时间到，上显微镜。”
李教授赶紧把培养皿移到高倍金相显微镜下。
他双手扶着镜筒，凑上右眼，转动调焦旋钮。视野从模糊逐渐变得清晰。
当焦距完全对准的一刻，李教授整个人僵在原地。
他连呼吸都停了，半张着嘴，愣是半天没吐出一个字。
“怎么了老李？你倒是出个声啊！成没成？”卢子真急得直跺脚，不满的道。
李教授没说话，他眼角滚下两行热泪，身子往旁边一偏，把显微镜的位置让了出来。
卢子真一把推开材料所所长，自己把眼睛贴在目镜上。
下一刻，卢子真也变成了木头人，嘴里发出断断续续的抽气声。
视野里，那片原本平滑无物的硅片上，真真切切出现了一座微型城市。
无数条细小到只有头发丝百分之一的线条，在上面纵横交错，构成了一个庞大而复杂的迷宫。
横平竖直，拐角锐利。
每一条沟壑的边缘都平整得像是用最锋利的铡刀切出来的一般，没断线，更没半点毛刺虚影。
这是超脱了这个时代工业极限的完美精度，是微观世界里的宏伟建筑。
“成功了……”卢子真直起身，眼底全是狂热的喜悦，“零点八微米线宽的图纸，完完整整的印在上面了！”
整个显影室蓦然炸响，掌声与欢呼震耳欲聋。
大家抱在一起又跳又笑。
李教授瘫坐在旁边的木椅子上，摘下老花镜抹眼泪，笑着道：“我干了大半辈子化学，成天跟刺鼻的酸碱打交道。今天这眼界算是彻底被林总师打开了，这显微镜底下的化学线条，简直比画报上的天安门还俊！”
显影成功，这只是万里长征迈出了第一步。
接下来的刻蚀和离子掺杂，才是真正将迷宫挖出来、赋予其灵魂的硬仗。
放在以前，无论是酸液腐蚀还是高温掺杂，全凭着老师傅的经验去赌。
酸液浓了，线条就被溶断；掺杂温度高了，硅片直接报废。
每次流片，报废率高得吓人，大家都是提心吊胆的摸黑过河。
可今天，情况截然不同。
化工所和材料所的研究员们手里，捏着林振给出的全套操作规程。
“刻蚀液温度设定三十度，浸泡时间精确到四十五秒。”
“离子注入机，能量调至五十千电子伏特，剂量确认。”
这些详尽到个位数的参数，直接填补了龙国在半导体工艺上几十年的空白。
有了林振这根定海神针，大家操作起来行云流水，不再有过去的盲目和慌乱。
每一次药水浸泡，每一次清洗烘干，都严格按照规程正确执行。
蓝色的火苗在退火炉里稳定燃烧，真空泵发出低沉有力的轰鸣声。
随着最后一道铝制金属化布线完成，那片历经十几道繁杂工序的六英寸晶圆，平稳送出机台。
林振站在长条工作台前，看着这片泛着金属光泽的硅圆片，神色冷沉中透着绝对的掌控力。
接下来，只需要把它切割、封装。
那枚承载着龙国第一台微型计算机希望的龙芯一号，就将正式向全世界宣告它的诞生。