第682章 四分钟蚀出奇迹！
收藏【零一小说wWw.db229.Com】，热门网络小说无弹窗免费阅读！
一块紫铜片刚从烧杯里夹出来，边缘便掉下了一层铜渣。
化工所实验室内，几名研究员的脸色都有些难看。
这是今天报废的第六块试验片。
魏云梦换着洁白的实验服，站在十几个烧杯前。杯中装着颜色深浅不一的黄褐色液体，酸气被排风罩抽走，仍有少量残留在空气中。
她用镊子夹住铜片，先在清水里冲洗，再放到显微镜下观察。
“3号溶液，蚀刻深度零点二一毫米，侧蚀超过十二微米，作废。”
“4号溶液，蚀刻速率过低，作废。”
“5号溶液，深度零点一八毫米，槽底出现麻点，作废。”
研究员将结果写进记录本，笔尖停了停。
桌上总共只有二十四块紫铜试片，每一块都登记在册。国内无氧紫铜产量有限，银河项目又一次领走几百斤，其他单位已经开始压缩用量。
继续这么试下去，剩余材料未必够用。
一个年轻研究员看了看墙上的挂钟，已经是凌晨一点。
“魏组长，林总师只给了四十八小时。再筛不出配方，明天的光刻工序就得往后推。”
“我知道。”
魏云梦翻开实验记录，将前六组数据重新排列。
他们要调配的蚀刻液，必须在规定时间内均匀腐蚀紫铜，挖出零点二毫米深的微流道。
流道最窄处只有零点几毫米，侧蚀过大，相邻水路就可能串通；槽底粗糙，又会增加水流阻力。
偏差哪怕超过几微米，也可能让一整块水冷板报废。
银河机房里摆着一万五千枚龙芯一号，西北基地的东风项目和红霞工程都在等它开机。他们晚一天，戈壁滩上的科研人员就得多摇一天手摇计算机。
没人敢把这当成普通试验。
林振给出的基础配方是三氯化铁溶液，这种材料可以腐蚀印刷电路板，可银河水冷板的工艺要求远高于普通铜线路。
浓度过高，铜板会被快速腐蚀，反应热也难以散出，光刻胶下方的铜跟着遭殃。浓度过低，蚀刻时间成倍增加，流道深度还会出现差异。
“组长，要不要加盐酸？”
年轻研究员拿起一瓶试剂。
“我在资料上见过，盐酸能抑制三氯化铁水解，还能提高蚀刻速度。只要把速度提起来，我们就有时间多试几组。”
“把瓶子放回去。”
魏云梦依旧忙于工作。
“盐酸挥发后，溶液浓度会持续变化。前一块铜板蚀刻四分钟合格，后一块可能三分半就超差。它还会与反应产物形成络合物，破坏槽底均匀性。”
“银河需要成套水冷板，一块合格远不够。”
她走到小黑板前，写下三氯化铁与铜反应的方程式，又将六组试验结果列在旁边。
“单纯加快速度，控制不住深度。我们需要缓冲体系，让溶液在反应过程中维持稳定。”
一名年长研究员扶了扶眼镜。
“蚀刻液还能自己调节？”
“可以。加入氯化铵，稳定溶液中的有效成分，再加入少量聚乙二醇，改善液体对铜面的润湿和流平。”
魏云梦在黑板上写下新的比例。
“再把温度压到四十摄氏度，使用水浴恒温。蚀刻期间轻微摆动试片，防止反应产物堆积在槽底。”
年长研究员盯着配方看了半晌，取下眼镜擦了擦。
“氯化铵配三氯化铁，我以前从没这么用过。”
“所以先做小样。”
魏云梦看向桌边的试片。
“把剩下的铜片分成八组，每组只用半片。小周负责浓度梯度，老陈负责温度梯度，我盯蚀刻时间和显微测量。”
“从现在开始，任何人不能凭经验改配方。称量精确到零点零一克，温度变化不能超过半度，每三十秒记录一次。”
“明白！”
几名研究员立刻分工。
搪瓷缸里的凉茶早已没了热气，桌角还放着两块从食堂带回来的玉米面饼子，谁也顾不上吃。天色泛白时，第一轮新配方完成。
六号试片的槽底麻点消失，侧蚀却仍旧超差。
魏云梦将氯化铵比例降低，又把聚乙二醇用量提高少许。
中午十二点，七号试片被放进烧杯。
“四十度整。”
“计时开始。”
实验室里安静下来，只能听见墙上挂钟的走动声。
四分钟一到，魏云梦亲手夹出铜片，放入清水中止反应。经过冲洗和干燥，试片被送到显微镜下。
年轻研究员转动测微旋钮，报数时声音发紧。
“深度零点一九九毫米。”
他重新测量另一端。
“零点二零一毫米。”
“中段零点二毫米，槽壁完整，侧蚀两微米！”
老陈抢过记录纸核对三遍，手掌重落在桌面上。
“成了！”
几名熬得双眼发红的研究员站了起来。有人笑出了声，有人赶紧低头整理试剂，生怕被同事看见湿润的眼角。
魏云梦没急着宣布成功。
“同一配方再做五组，批次不同、位置不同，全部合格才算数。”
六个小时后，五组复验数据整齐摆在桌上。
蚀刻速率稳定在每分钟零点零五毫米，深度误差不超过两微米，槽底平整度满足要求。
魏云梦终于在记录本最后写下四个字。
“配方定型。”
同时，749院另一头的高温车间也亮了两夜灯。
一台一人多高的圆筒形设备被拆开外壳，露出内部炉膛和纵横交错的管线。这是从德国进口的高温真空炉，平日专门用于烧结陶瓷，材料所每次启用都要经过院里批准。
如今，林振领着机床厂的老师傅，正在给这台进口设备“动手术”。
他穿着蓝色工装，袖口卷到小臂，手里拿着改造图纸。
“老李，拆掉原来的石墨电极加热系统，换成新绕制的钼丝炉膛。支撑件全部使用耐高温陶瓷，不能让钼丝碰到炉壁。”
“小张，清洗真空泵油路，再换一遍新油。泵体连接处逐个检漏，极限真空必须达到十的负五次方帕。”
“王师傅，液压装置的压头面积不够，按这张图重做。我要整个铜板表面受力均匀，边缘和中心的压力差不能超过百分之三。”
老师傅们拿着图纸各自忙开。
王厂长围着拆开的真空炉转了一圈，越看越觉得心惊。
“林总师，这台设备以前坏过一次，德国人派来的工程师修了半个月。材料所平时连外壳都不准我们乱碰，你怎么连炉膛线路都敢改？”
“结构并不复杂，先把加热、真空和加压三个系统分开，再重新匹配参数就行。”
林振蹲下身，用扳手拧紧真空管路的法兰。
“德国人造得出来，我们也能改得更适合自己。以后扩散焊需要的设备，总不能回找他们买。”
旁边一名八级技师听见这话，低头把螺栓又紧了半圈。
进口设备昂贵，坏一个零件都要等国外寄来。现在林振直接改动核心结构，等于带着他们把这台设备从里到外学了一遍。
王厂长摸了摸炉体，忍不住问道：“你以前真学过真空炉？”
“在厂里跟老师傅接触过一点。”
林振给出和往常一样的回答。
王厂长嘴角抽动两下。
他算是听明白了。
林振嘴里的“一点”，和普通人的一点根本不是一回事。光刻机、微处理器、磁芯存储器，现在又多了高温真空炉。再问下去，只会让自己受打击。
改造进行到第二天凌晨，真空泵试机时，指针停在了规定数值之外。
车间里沉寂了片刻。
小张额头冒汗。
“管线查了三遍，泵油也是新的，真空度怎么还上不去？”
“关闭主阀，分段保压。”
林振拿起检漏液，沿着法兰接口逐一检查。走到炉门处时，他停下脚步，用手指按住一段密封圈。
“这里老化了，高温后会继续收缩。”
“可进口密封圈没有备件。”材料所的管理员急得翻起登记册，“向德国订货，最快也得几个月。”
“用氟硅橡胶做。”
林振报出尺寸。
“材料所刚完成改良配方，耐温和密封性能都够。今天做模具，下午硫化成形。”
六个小时后，国产氟硅密封圈装上炉门。
真空泵再次启动，指针平稳越过原设备的极限指标。王厂长盯着仪表，半天没说话。
德国人的真空炉，装上龙国自己研发的密封材料，性能反而提高了。
他抬手拍了一下炉体。
“以后谁再说咱们只能修洋机器，我把这张测试记录贴他门上。”
两天后，魏云梦提着密封桶来到高温车间。
桶里装着茶褐色蚀刻液，封口处贴着编号和绝密标签。
“七号配方，五次复验全部合格。”
她将实验记录递给林振，疲惫藏不住，唇角却微扬起。
“蚀刻速率每分钟零点零五毫米，四分钟达到零点二毫米，误差不超过两微米。”
王厂长拿过报告，只看了两页便竖起大拇指。
“林总师用光画图，魏研究员用药水下刀。你们两口子这是把我们机床厂的活全包了。”
魏云梦轻眨了下眼。
“最后还得靠王厂长把整套水冷系统装起来。”
“那当然！”
王厂长拍着胸口。
“我说过，只要水冷板能做出来，全厂八级工都听林总师调遣。”
林振翻完记录，看见妻子指腹上留着试剂手套压出的红痕。
“辛苦了。剩下的工序交给我，你先去吃饭，再睡几个小时。”
“等第一块水冷板出炉。”
魏云梦把手收回实验服口袋。
“西北那些同志还在等银河，我现在睡不着。”
又过一天，801工程光刻机在两块镜面紫铜板上完成曝光。经过显影和云梦一号蚀刻，迷宫般的流道清晰出现在铜板表面，十几个急弯尺寸分毫不差。
王厂长亲自带人，将两块铜板装进铺着棉布的木箱，送往高温车间。一路上，两名警卫守在前后，连台阶都走得极慢。
所有准备工作终于完成。
林振戴上洁净手套，对两块铜板进行最后清洗，去除氧化层和残留物，再将蚀刻面对准，精确贴合。
两块板被放进真空炉中央，液压头缓落下。
“炉门关闭。”
“密封检查通过。”
“启动真空泵。”
低沉的嗡鸣传遍车间，压力表指针开始下降。
“真空度进入规定范围。”
“钼丝炉膛通电，开始升温。”
温控器数字不断攀升，炉壳内传出轻微的金属热胀声。车间里站着材料所、电子所和机床厂的技术人员，卢子真也赶了过来。
所有人的目光都集中在那台经过国产化改造的真空炉上。
光刻、蚀刻、扩散焊，三条国内从未走过的技术路线，今天要在这两块铜板上汇合。
温度继续上升。
距离八百摄氏度，越来越近。
一块紫铜片刚从烧杯里夹出来，边缘便掉下了一层铜渣。
化工所实验室内，几名研究员的脸色都有些难看。
这是今天报废的第六块试验片。
魏云梦换着洁白的实验服，站在十几个烧杯前。杯中装着颜色深浅不一的黄褐色液体，酸气被排风罩抽走，仍有少量残留在空气中。
她用镊子夹住铜片，先在清水里冲洗，再放到显微镜下观察。
“3号溶液，蚀刻深度零点二一毫米，侧蚀超过十二微米，作废。”
“4号溶液，蚀刻速率过低，作废。”
“5号溶液，深度零点一八毫米，槽底出现麻点，作废。”
研究员将结果写进记录本，笔尖停了停。
桌上总共只有二十四块紫铜试片，每一块都登记在册。国内无氧紫铜产量有限，银河项目又一次领走几百斤，其他单位已经开始压缩用量。
继续这么试下去，剩余材料未必够用。
一个年轻研究员看了看墙上的挂钟，已经是凌晨一点。
“魏组长，林总师只给了四十八小时。再筛不出配方，明天的光刻工序就得往后推。”
“我知道。”
魏云梦翻开实验记录，将前六组数据重新排列。
他们要调配的蚀刻液，必须在规定时间内均匀腐蚀紫铜，挖出零点二毫米深的微流道。
流道最窄处只有零点几毫米，侧蚀过大，相邻水路就可能串通；槽底粗糙，又会增加水流阻力。
偏差哪怕超过几微米，也可能让一整块水冷板报废。
银河机房里摆着一万五千枚龙芯一号，西北基地的东风项目和红霞工程都在等它开机。他们晚一天，戈壁滩上的科研人员就得多摇一天手摇计算机。
没人敢把这当成普通试验。
林振给出的基础配方是三氯化铁溶液，这种材料可以腐蚀印刷电路板，可银河水冷板的工艺要求远高于普通铜线路。
浓度过高，铜板会被快速腐蚀，反应热也难以散出，光刻胶下方的铜跟着遭殃。浓度过低，蚀刻时间成倍增加，流道深度还会出现差异。
“组长，要不要加盐酸？”
年轻研究员拿起一瓶试剂。
“我在资料上见过，盐酸能抑制三氯化铁水解，还能提高蚀刻速度。只要把速度提起来，我们就有时间多试几组。”
“把瓶子放回去。”
魏云梦依旧忙于工作。
“盐酸挥发后，溶液浓度会持续变化。前一块铜板蚀刻四分钟合格，后一块可能三分半就超差。它还会与反应产物形成络合物，破坏槽底均匀性。”
“银河需要成套水冷板，一块合格远不够。”
她走到小黑板前，写下三氯化铁与铜反应的方程式，又将六组试验结果列在旁边。
“单纯加快速度，控制不住深度。我们需要缓冲体系，让溶液在反应过程中维持稳定。”
一名年长研究员扶了扶眼镜。
“蚀刻液还能自己调节？”
“可以。加入氯化铵，稳定溶液中的有效成分，再加入少量聚乙二醇，改善液体对铜面的润湿和流平。”
魏云梦在黑板上写下新的比例。
“再把温度压到四十摄氏度，使用水浴恒温。蚀刻期间轻微摆动试片，防止反应产物堆积在槽底。”
年长研究员盯着配方看了半晌，取下眼镜擦了擦。
“氯化铵配三氯化铁，我以前从没这么用过。”
“所以先做小样。”
魏云梦看向桌边的试片。
“把剩下的铜片分成八组，每组只用半片。小周负责浓度梯度，老陈负责温度梯度，我盯蚀刻时间和显微测量。”
“从现在开始，任何人不能凭经验改配方。称量精确到零点零一克，温度变化不能超过半度，每三十秒记录一次。”
“明白！”
几名研究员立刻分工。
搪瓷缸里的凉茶早已没了热气，桌角还放着两块从食堂带回来的玉米面饼子，谁也顾不上吃。天色泛白时，第一轮新配方完成。
六号试片的槽底麻点消失，侧蚀却仍旧超差。
魏云梦将氯化铵比例降低，又把聚乙二醇用量提高少许。
中午十二点，七号试片被放进烧杯。
“四十度整。”
“计时开始。”
实验室里安静下来，只能听见墙上挂钟的走动声。
四分钟一到，魏云梦亲手夹出铜片，放入清水中止反应。经过冲洗和干燥，试片被送到显微镜下。
年轻研究员转动测微旋钮，报数时声音发紧。
“深度零点一九九毫米。”
他重新测量另一端。
“零点二零一毫米。”
“中段零点二毫米，槽壁完整，侧蚀两微米！”
老陈抢过记录纸核对三遍，手掌重落在桌面上。
“成了！”
几名熬得双眼发红的研究员站了起来。有人笑出了声，有人赶紧低头整理试剂，生怕被同事看见湿润的眼角。
魏云梦没急着宣布成功。
“同一配方再做五组，批次不同、位置不同，全部合格才算数。”
六个小时后，五组复验数据整齐摆在桌上。
蚀刻速率稳定在每分钟零点零五毫米，深度误差不超过两微米，槽底平整度满足要求。
魏云梦终于在记录本最后写下四个字。
“配方定型。”
同时，749院另一头的高温车间也亮了两夜灯。
一台一人多高的圆筒形设备被拆开外壳，露出内部炉膛和纵横交错的管线。这是从德国进口的高温真空炉，平日专门用于烧结陶瓷，材料所每次启用都要经过院里批准。
如今，林振领着机床厂的老师傅，正在给这台进口设备“动手术”。
他穿着蓝色工装，袖口卷到小臂，手里拿着改造图纸。
“老李，拆掉原来的石墨电极加热系统，换成新绕制的钼丝炉膛。支撑件全部使用耐高温陶瓷，不能让钼丝碰到炉壁。”
“小张，清洗真空泵油路，再换一遍新油。泵体连接处逐个检漏，极限真空必须达到十的负五次方帕。”
“王师傅，液压装置的压头面积不够，按这张图重做。我要整个铜板表面受力均匀，边缘和中心的压力差不能超过百分之三。”
老师傅们拿着图纸各自忙开。
王厂长围着拆开的真空炉转了一圈，越看越觉得心惊。
“林总师，这台设备以前坏过一次，德国人派来的工程师修了半个月。材料所平时连外壳都不准我们乱碰，你怎么连炉膛线路都敢改？”
“结构并不复杂，先把加热、真空和加压三个系统分开，再重新匹配参数就行。”
林振蹲下身，用扳手拧紧真空管路的法兰。
“德国人造得出来，我们也能改得更适合自己。以后扩散焊需要的设备，总不能回找他们买。”
旁边一名八级技师听见这话，低头把螺栓又紧了半圈。
进口设备昂贵，坏一个零件都要等国外寄来。现在林振直接改动核心结构，等于带着他们把这台设备从里到外学了一遍。
王厂长摸了摸炉体，忍不住问道：“你以前真学过真空炉？”
“在厂里跟老师傅接触过一点。”
林振给出和往常一样的回答。
王厂长嘴角抽动两下。
他算是听明白了。
林振嘴里的“一点”，和普通人的一点根本不是一回事。光刻机、微处理器、磁芯存储器，现在又多了高温真空炉。再问下去，只会让自己受打击。
改造进行到第二天凌晨，真空泵试机时，指针停在了规定数值之外。
车间里沉寂了片刻。
小张额头冒汗。
“管线查了三遍，泵油也是新的，真空度怎么还上不去？”
“关闭主阀，分段保压。”
林振拿起检漏液，沿着法兰接口逐一检查。走到炉门处时，他停下脚步，用手指按住一段密封圈。
“这里老化了，高温后会继续收缩。”
“可进口密封圈没有备件。”材料所的管理员急得翻起登记册，“向德国订货，最快也得几个月。”
“用氟硅橡胶做。”
林振报出尺寸。
“材料所刚完成改良配方，耐温和密封性能都够。今天做模具，下午硫化成形。”
六个小时后，国产氟硅密封圈装上炉门。
真空泵再次启动，指针平稳越过原设备的极限指标。王厂长盯着仪表，半天没说话。
德国人的真空炉，装上龙国自己研发的密封材料，性能反而提高了。
他抬手拍了一下炉体。
“以后谁再说咱们只能修洋机器，我把这张测试记录贴他门上。”
两天后，魏云梦提着密封桶来到高温车间。
桶里装着茶褐色蚀刻液，封口处贴着编号和绝密标签。
“七号配方，五次复验全部合格。”
她将实验记录递给林振，疲惫藏不住，唇角却微扬起。
“蚀刻速率每分钟零点零五毫米，四分钟达到零点二毫米，误差不超过两微米。”
王厂长拿过报告，只看了两页便竖起大拇指。
“林总师用光画图，魏研究员用药水下刀。你们两口子这是把我们机床厂的活全包了。”
魏云梦轻眨了下眼。
“最后还得靠王厂长把整套水冷系统装起来。”
“那当然！”
王厂长拍着胸口。
“我说过，只要水冷板能做出来，全厂八级工都听林总师调遣。”
林振翻完记录，看见妻子指腹上留着试剂手套压出的红痕。
“辛苦了。剩下的工序交给我，你先去吃饭，再睡几个小时。”
“等第一块水冷板出炉。”
魏云梦把手收回实验服口袋。
“西北那些同志还在等银河，我现在睡不着。”
又过一天，801工程光刻机在两块镜面紫铜板上完成曝光。经过显影和云梦一号蚀刻，迷宫般的流道清晰出现在铜板表面，十几个急弯尺寸分毫不差。
王厂长亲自带人，将两块铜板装进铺着棉布的木箱，送往高温车间。一路上，两名警卫守在前后，连台阶都走得极慢。
所有准备工作终于完成。
林振戴上洁净手套，对两块铜板进行最后清洗，去除氧化层和残留物，再将蚀刻面对准，精确贴合。
两块板被放进真空炉中央，液压头缓落下。
“炉门关闭。”
“密封检查通过。”
“启动真空泵。”
低沉的嗡鸣传遍车间，压力表指针开始下降。
“真空度进入规定范围。”
“钼丝炉膛通电，开始升温。”
温控器数字不断攀升，炉壳内传出轻微的金属热胀声。车间里站着材料所、电子所和机床厂的技术人员，卢子真也赶了过来。
所有人的目光都集中在那台经过国产化改造的真空炉上。
光刻、蚀刻、扩散焊，三条国内从未走过的技术路线，今天要在这两块铜板上汇合。
温度继续上升。
距离八百摄氏度，越来越近。