第203章 年后，光刻机团队抵达！
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对于这么多航空体系的人，前来打听消息。</p>
韩文韬是比较高兴的。</p>
这说明什么？</p>
说明许多人感兴趣。</p>
感兴趣的人多，官方在选‘大飞机项目’负责人的时候，就有更多的选择。</p>
而且，最终来‘大飞机项目’的负责分。</p>
可能就不止一个负责人。</p>
说不定还能带来几个“好友”。</p>
负责人的好友……那放在航空领域，也是顶尖大牛啊。</p>
其次，‘大飞机项目’落地后，需要研发人员、研发团队。</p>
官方也会协调。</p>
这么多人打听，说明是有很多人，愿意跳出航空体系内部。</p>
从国企、央企、军工领域离开，来【北辰商飞公司】这个民企的。</p>
是好事！</p>
“你这个年过的，比我还忙……”</p>
整个新年，韩文韬经常就是接电话，谈航空、大飞机项目。</p>
要知道在家里的时候，韩文韬以前是没什么事情的。</p>
基本不谈公司、工作的事情。</p>
公司、工作的事情，很少找到他。</p>
公司和工作，他都交给公司负责人去管，属于完全放权！</p>
只有韩鸿宇要管‘鸿宇摩托车’‘鸿宇钢铁厂’……特别是摩托车厂，许多事情需要他处理。</p>
好在韩鸿宇乐此不疲，干劲十足。</p>
现在，韩鸿宇终于看到，一直悠闲的儿子，也每天接各种电话，张口闭口就是公司的事情了。</p>
嘿嘿嘿～心里平衡不少。</p>
“这次去外公家里，可能没时间停留太久了。”</p>
年后，韩文韬和老爸，还有小姨，去外公家里拜年。</p>
原计划是去一周。</p>
因为大飞机项目……以及年后有不少事情需要处理，光刻机：光源系统、物镜系统的团队也要过来。</p>
之后‘路特斯（莲花跑车）’工程团队的人要来。</p>
韩文韬还是有不少事情需要处理的。</p>
李淑梅非常理解：“你的正事重要！”</p>
她只是帮韩文韬自己、实验室、公司申请专利……可仅仅是每个月的专利申请量。</p>
就能看出，韩文韬真的很忙。</p>
旗下公司、实验室、团队……手里的研究项目非常多。</p>
事情真的不少。</p>
“我年后可能要去一趟法国，具体到时候看，不行的话……小兰就留在爸那边！”</p>
“或者让爸妈过来蜀汉市照顾你。”</p>
李淑梅还有四个月左右就要生了。</p>
韩鸿宇过段时间要去一趟法国……而且要去几趟。</p>
具体时间没定。</p>
他离开后。</p>
总不可能是韩文韬照顾小姨吧？</p>
韩文韬现在的事情和项目，并不比老爸少，也很忙。</p>
最好的办法，就是小姨这次去外公家，就留在江城那边。</p>
或者，外公、外婆直接来蜀汉市。</p>
“到时回去跟爸妈商量吧。”</p>
具体怎么弄，李淑梅都可以，关键还是看两位老人的想法。</p>
这次就没开车，而是直接乘坐飞机前往江城。</p>
舅舅李正军到机场接韩文韬他们。</p>
去年过年，韩文韬老爸，和外公一家的‘恩怨’算是彻底解除了。</p>
今年过年，小姨还怀孕了，待遇就更好。</p>
经过商量过后，两位老人非常理解韩鸿宇公司要忙，毕竟已经是国内头部摩托车厂。</p>
两位老人决定去蜀汉市照顾女儿。</p>
一周后，一行五人乘坐飞机又返回蜀汉市。</p>
这时候新年已经过去10来天了。</p>
年前就联系好的：沪上光电所、科学院光电所、长光所；</p>
以及2月份，韩文韬去燕都参加国奖颁奖典礼，认识的几个研究人员。</p>
主要攻克光源系统、物镜系统……解决光刻机的问题。</p>
团队已经抵达。</p>
韩文韬也忙起来。</p>
“感谢各位远道而来，辛苦了！”</p>
韩文韬在锦湖这边，亲自迎接来自几个光学研究所、实验室的团队。</p>
先安排了午饭，然后带团队的人去住的地方。</p>
之后直接去【北辰精密】研发大楼。</p>
光刻机项目就放在【北辰精密】。</p>
光刻机也精密设备嘛！</p>
而且，【北辰精密】这边许多技术和设备，光刻机上是用得上，能更快、更高效地为光刻机团队提供解决方案。</p>
“目前，我们已经购入多台0.25um光刻机……其中部分放在晶圆厂使用！”</p>
“会拿两台出来做研究。”</p>
“我先说一下短期目标和长期目标……”</p>
“短期目标，将目前光刻机使用的i-line的365nm光源，升级成KrF（氟化氪）248nm光源、或者ArF（氟化氩）193nm光源！”</p>
“我个人倾向于后者，一步到位，难度并不会很高！”</p>
目前，0.25um的光刻机……或者之前使用的光刻机，基本都是365nm的i-line（汞灯谱线）。</p>
波长365nm，精度不够，0.25um工艺基本已经是极限。</p>
后面0.25um以上更先进的工艺，就需要全新的光源。</p>
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！</p>
KrF（氟化氪）是248nm的光源，精度比365nmi-line（汞灯谱线）更高，1988年由尼康推出首款商用KrF光刻机。</p>
依旧是十几二十年前的技术了。</p>
就这……国内也还没用上。</p>
不是做不出来，而是用不上……光刻机没有达到这个水平。</p>
而ArF（氟化氩）准分子激光，它是193纳米的波长，是目前全球最顶尖的技术。</p>
去年用Gigaphoton推出首款量产的ArF激光器。</p>
前世，芯片和光刻机被封锁有多严重？？</p>
盘点过光刻机的韩文韬，当然知道ArF光源的光刻机更先进，是90nm工艺以及更先进工艺的必须技术。</p>
能一直用在7nm！</p>
所以他推荐后者：ArF光源。</p>
当然，这是短期项目。</p>
“长期项目，我们要研究的是——EUV极紫外光源！”</p>
EUV极紫外光源。</p>
这是下一代光刻机的研发方向，是全世界基本已经摸索出来的方向。</p>
但是难度……非常高！</p>
这需要人为去制造一种自然界不存在的‘光’，这种光还极易被任何物质吸收。</p>
即便是空气！</p>
这就导致EUV光源，不能使用透镜，会被透镜吸收耗尽。</p>
只能依靠布拉格反射镜。</p>
这种反射镜的镜面精度，需达原子级别。</p>
造出这种‘光’其实还是能做到的，难的：物镜系统。</p>
还有更难的是：用这种光来制造芯片。</p>
超高精度的芯片。</p>
在晶圆厂，每小时需要处理100片以上晶圆。</p>
要将EUV光源用在这上面，功率需要达到200W以上，而且需要稳定、高效、持续。</p>
激光是从电能转换来的。</p>
将电能通过激光器，转换为激光，效率大约在10%-20%。</p>
看似不错，EUV要求只是区区200W？</p>
那不是轻轻松松吗？</p>
实际上，要维持一台输出功率200W以上的EUV光刻机：稳定、高效、持续运行。</p>
驱动激光的功率需要约20kW。</p>
也就是：从电能转化为激光，最终到达晶圆的EUV光，转换效率仅为0.02% ！</p>
转化过程怎么转化呢？</p>
EUV光源是需要‘人造’的。</p>
那就是用高能激光，以每秒5万次（50kHz）的频率，精准轰击直径仅约30微米（比头发丝还细）的锡液滴，将其转化为等离子体并辐射出EUV光。</p>
再将产生的EUV光，通过十几面反射率仅约70%的布拉格反射镜进行反射、控制、最终进行晶圆光刻。</p>
就这其中的问题：</p>
大功率激光驱动。</p>
激光器转化效率。</p>
如何控制高能激光，以每秒5万次（50kHz）的频率，精准轰击直径仅约30微米（比头发丝还细）的锡液滴？</p>
如何打磨出产生平面精度，比头发丝直径还要细几百万分之一，反射率70%的布拉格反射镜？</p>
当高能激光，每秒5万次（50kHz）的频率轰击锡滴，转化为等离子体并辐射出EUV光，那产生的锡碎屑，会污染物镜和精密光学部件！</p>
如何避免？如何解决这个问题？如何清理这些碎屑？</p>
同时，数十千瓦的激光能量，不断轰击微小的锡滴上，会产生极端的高温，对物镜、光学部件、精密结构造成巨大影响。</p>
这是EUV光刻机……金属等材料，高温下是会发生变形的。</p>
哪怕只是1纳米、0.1纳米……影响都是巨大的。</p>
这些问题，还只是光源系统、和部分物镜系统的问题。</p>
还有工作台、还有整个光刻机各方面的问题。</p>
EUV光刻机？</p>
沪上光电所、科学院光电所、长光所这边过来的团队，脑海中冒出一个：10年？还是20年？EUV光刻机能解决吗？！</p>
这【北辰精密】也不是一家骗子公司啊？</p>
一来就整这种大项目？！</p>
</p>
对于这么多航空体系的人，前来打听消息。</p>
韩文韬是比较高兴的。</p>
这说明什么？</p>
说明许多人感兴趣。</p>
感兴趣的人多，官方在选‘大飞机项目’负责人的时候，就有更多的选择。</p>
而且，最终来‘大飞机项目’的负责分。</p>
可能就不止一个负责人。</p>
说不定还能带来几个“好友”。</p>
负责人的好友……那放在航空领域，也是顶尖大牛啊。</p>
其次，‘大飞机项目’落地后，需要研发人员、研发团队。</p>
官方也会协调。</p>
这么多人打听，说明是有很多人，愿意跳出航空体系内部。</p>
从国企、央企、军工领域离开，来【北辰商飞公司】这个民企的。</p>
是好事！</p>
“你这个年过的，比我还忙……”</p>
整个新年，韩文韬经常就是接电话，谈航空、大飞机项目。</p>
要知道在家里的时候，韩文韬以前是没什么事情的。</p>
基本不谈公司、工作的事情。</p>
公司、工作的事情，很少找到他。</p>
公司和工作，他都交给公司负责人去管，属于完全放权！</p>
只有韩鸿宇要管‘鸿宇摩托车’‘鸿宇钢铁厂’……特别是摩托车厂，许多事情需要他处理。</p>
好在韩鸿宇乐此不疲，干劲十足。</p>
现在，韩鸿宇终于看到，一直悠闲的儿子，也每天接各种电话，张口闭口就是公司的事情了。</p>
嘿嘿嘿～心里平衡不少。</p>
“这次去外公家里，可能没时间停留太久了。”</p>
年后，韩文韬和老爸，还有小姨，去外公家里拜年。</p>
原计划是去一周。</p>
因为大飞机项目……以及年后有不少事情需要处理，光刻机：光源系统、物镜系统的团队也要过来。</p>
之后‘路特斯（莲花跑车）’工程团队的人要来。</p>
韩文韬还是有不少事情需要处理的。</p>
李淑梅非常理解：“你的正事重要！”</p>
她只是帮韩文韬自己、实验室、公司申请专利……可仅仅是每个月的专利申请量。</p>
就能看出，韩文韬真的很忙。</p>
旗下公司、实验室、团队……手里的研究项目非常多。</p>
事情真的不少。</p>
“我年后可能要去一趟法国，具体到时候看，不行的话……小兰就留在爸那边！”</p>
“或者让爸妈过来蜀汉市照顾你。”</p>
李淑梅还有四个月左右就要生了。</p>
韩鸿宇过段时间要去一趟法国……而且要去几趟。</p>
具体时间没定。</p>
他离开后。</p>
总不可能是韩文韬照顾小姨吧？</p>
韩文韬现在的事情和项目，并不比老爸少，也很忙。</p>
最好的办法，就是小姨这次去外公家，就留在江城那边。</p>
或者，外公、外婆直接来蜀汉市。</p>
“到时回去跟爸妈商量吧。”</p>
具体怎么弄，李淑梅都可以，关键还是看两位老人的想法。</p>
这次就没开车，而是直接乘坐飞机前往江城。</p>
舅舅李正军到机场接韩文韬他们。</p>
去年过年，韩文韬老爸，和外公一家的‘恩怨’算是彻底解除了。</p>
今年过年，小姨还怀孕了，待遇就更好。</p>
经过商量过后，两位老人非常理解韩鸿宇公司要忙，毕竟已经是国内头部摩托车厂。</p>
两位老人决定去蜀汉市照顾女儿。</p>
一周后，一行五人乘坐飞机又返回蜀汉市。</p>
这时候新年已经过去10来天了。</p>
年前就联系好的：沪上光电所、科学院光电所、长光所；</p>
以及2月份，韩文韬去燕都参加国奖颁奖典礼，认识的几个研究人员。</p>
主要攻克光源系统、物镜系统……解决光刻机的问题。</p>
团队已经抵达。</p>
韩文韬也忙起来。</p>
“感谢各位远道而来，辛苦了！”</p>
韩文韬在锦湖这边，亲自迎接来自几个光学研究所、实验室的团队。</p>
先安排了午饭，然后带团队的人去住的地方。</p>
之后直接去【北辰精密】研发大楼。</p>
光刻机项目就放在【北辰精密】。</p>
光刻机也精密设备嘛！</p>
而且，【北辰精密】这边许多技术和设备，光刻机上是用得上，能更快、更高效地为光刻机团队提供解决方案。</p>
“目前，我们已经购入多台0.25um光刻机……其中部分放在晶圆厂使用！”</p>
“会拿两台出来做研究。”</p>
“我先说一下短期目标和长期目标……”</p>
“短期目标，将目前光刻机使用的i-line的365nm光源，升级成KrF（氟化氪）248nm光源、或者ArF（氟化氩）193nm光源！”</p>
“我个人倾向于后者，一步到位，难度并不会很高！”</p>
目前，0.25um的光刻机……或者之前使用的光刻机，基本都是365nm的i-line（汞灯谱线）。</p>
波长365nm，精度不够，0.25um工艺基本已经是极限。</p>
后面0.25um以上更先进的工艺，就需要全新的光源。</p>
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！</p>
KrF（氟化氪）是248nm的光源，精度比365nmi-line（汞灯谱线）更高，1988年由尼康推出首款商用KrF光刻机。</p>
依旧是十几二十年前的技术了。</p>
就这……国内也还没用上。</p>
不是做不出来，而是用不上……光刻机没有达到这个水平。</p>
而ArF（氟化氩）准分子激光，它是193纳米的波长，是目前全球最顶尖的技术。</p>
去年用Gigaphoton推出首款量产的ArF激光器。</p>
前世，芯片和光刻机被封锁有多严重？？</p>
盘点过光刻机的韩文韬，当然知道ArF光源的光刻机更先进，是90nm工艺以及更先进工艺的必须技术。</p>
能一直用在7nm！</p>
所以他推荐后者：ArF光源。</p>
当然，这是短期项目。</p>
“长期项目，我们要研究的是——EUV极紫外光源！”</p>
EUV极紫外光源。</p>
这是下一代光刻机的研发方向，是全世界基本已经摸索出来的方向。</p>
但是难度……非常高！</p>
这需要人为去制造一种自然界不存在的‘光’，这种光还极易被任何物质吸收。</p>
即便是空气！</p>
这就导致EUV光源，不能使用透镜，会被透镜吸收耗尽。</p>
只能依靠布拉格反射镜。</p>
这种反射镜的镜面精度，需达原子级别。</p>
造出这种‘光’其实还是能做到的，难的：物镜系统。</p>
还有更难的是：用这种光来制造芯片。</p>
超高精度的芯片。</p>
在晶圆厂，每小时需要处理100片以上晶圆。</p>
要将EUV光源用在这上面，功率需要达到200W以上，而且需要稳定、高效、持续。</p>
激光是从电能转换来的。</p>
将电能通过激光器，转换为激光，效率大约在10%-20%。</p>
看似不错，EUV要求只是区区200W？</p>
那不是轻轻松松吗？</p>
实际上，要维持一台输出功率200W以上的EUV光刻机：稳定、高效、持续运行。</p>
驱动激光的功率需要约20kW。</p>
也就是：从电能转化为激光，最终到达晶圆的EUV光，转换效率仅为0.02% ！</p>
转化过程怎么转化呢？</p>
EUV光源是需要‘人造’的。</p>
那就是用高能激光，以每秒5万次（50kHz）的频率，精准轰击直径仅约30微米（比头发丝还细）的锡液滴，将其转化为等离子体并辐射出EUV光。</p>
再将产生的EUV光，通过十几面反射率仅约70%的布拉格反射镜进行反射、控制、最终进行晶圆光刻。</p>
就这其中的问题：</p>
大功率激光驱动。</p>
激光器转化效率。</p>
如何控制高能激光，以每秒5万次（50kHz）的频率，精准轰击直径仅约30微米（比头发丝还细）的锡液滴？</p>
如何打磨出产生平面精度，比头发丝直径还要细几百万分之一，反射率70%的布拉格反射镜？</p>
当高能激光，每秒5万次（50kHz）的频率轰击锡滴，转化为等离子体并辐射出EUV光，那产生的锡碎屑，会污染物镜和精密光学部件！</p>
如何避免？如何解决这个问题？如何清理这些碎屑？</p>
同时，数十千瓦的激光能量，不断轰击微小的锡滴上，会产生极端的高温，对物镜、光学部件、精密结构造成巨大影响。</p>
这是EUV光刻机……金属等材料，高温下是会发生变形的。</p>
哪怕只是1纳米、0.1纳米……影响都是巨大的。</p>
这些问题，还只是光源系统、和部分物镜系统的问题。</p>
还有工作台、还有整个光刻机各方面的问题。</p>
EUV光刻机？</p>
沪上光电所、科学院光电所、长光所这边过来的团队，脑海中冒出一个：10年？还是20年？EUV光刻机能解决吗？！</p>
这【北辰精密】也不是一家骗子公司啊？</p>
一来就整这种大项目？！</p>
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